Người mang wafer theo chiều ngang

Chất bán dẫn VeTekChất mang wafer SiC nằm ngang/Thuyền có điểm nóng chảy cực cao (khoảng 2700°C), cho phépChất mang wafer SiC nằm ngang/Thuyền hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cao mà không bị biến dạng hay xuống cấp. Tính năng này đặc biệt quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong các quy trình như ủ nhiệt độ cao hoặc lắng đọng hơi hóa học (CVD).

CácNgười mang wafer theo chiều ngang/Thuyền đặc biệt đóng các vai trò sau trong quá trình mang theo người mang wafer:

Silicon wafer mang và hỗ trợ: Thuyền Wafer SIC ngang chủ yếu được sử dụng để mang và hỗ trợ các tấm silicon trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Nó có thể sắp xếp chắc chắn nhiều tấm silicon với nhau để đảm bảo rằng chúng vẫn ở vị trí tốt và sự ổn định trong toàn bộ quá trình xử lý.

Làm nóng đồng nhất và làm mát: Do độ dẫn nhiệt cao của SIC, thuyền wafer có thể phân phối nhiệt một cách hiệu quả cho tất cả các tấm silicon. Điều này giúp đạt được sự sưởi ấm đồng đều hoặc làm mát các tấm silicon trong quá trình xử lý nhiệt độ cao, đảm bảo tính nhất quán và độ tin cậy của quá trình xử lý.

Ngăn ngừa ô nhiễm: Tính ổn định hóa học của SiC cho phép nó hoạt động tốt trong môi trường nhiệt độ cao và khí ăn mòn, do đó làm giảm sự tiếp xúc của tấm silicon với các chất gây ô nhiễm hoặc chất phản ứng có thể có, đảm bảo độ tinh khiết và chất lượng của tấm silicon.

Trên thực tế, thuyền Wafer theo chiều ngang có thể đóng vai trò trên do các đặc điểm sản phẩm độc đáo của nó:

Ổn định hóa học tuyệt vời: Vật liệu SIC có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời đối với nhiều phương tiện hóa học. Trong quá trình xử lý khí ăn mòn hoặc chất lỏng, thuyền wafer sic có thể chống lại sự ăn mòn hóa học một cách hiệu quả và bảo vệ các tấm silicon khỏi bị ô nhiễm hoặc thiệt hại.

Độ dẫn nhiệt cao: Độ dẫn nhiệt cao của SiC giúp phân bổ nhiệt đều trong quá trình mang và giảm tích tụ nhiệt. Điều này có thể cải thiện độ chính xác của việc kiểm soát nhiệt độ trong quá trình xử lý chính xác và đảm bảo làm nóng hoặc làm mát đồng đều các tấm silicon.

Hệ số giãn nở nhiệt thấp: Hệ số giãn nở nhiệt thấp của vật liệu SIC có nghĩa là sự thay đổi kích thước của thuyền wafer sic là rất nhỏ trong quá trình thay đổi nhiệt độ. Điều này giúp duy trì sự ổn định kích thước trong quá trình xử lý nhiệt độ cao và ngăn ngừa biến dạng hoặc dịch chuyển vị trí của các tấm silicon gây ra bởi sự giãn nở nhiệt.

Các tính chất vật lý cơ bản của Chất mang wafer SiC nằm ngang:

Xưởng sản xuất chất bán dẫn VeTek:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: