Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán

Các lò oxy hóa và khuếch tán được sử dụng trong các trường khác nhau như thiết bị bán dẫn, thiết bị riêng biệt, thiết bị quang điện tử, thiết bị điện tử, pin mặt trời và sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn. Chúng được sử dụng cho các quá trình bao gồm khuếch tán, oxy hóa, ủ, hợp kim và thiêu kết các tấm wafer.

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất hàng đầu chuyên sản xuất các thành phần than chì, silicon cacbua và thạch anh tinh khiết cao trong các lò oxy hóa và khuếch tán. Chúng tôi cam kết cung cấp các thành phần lò chất lượng cao cho các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, và đi đầu trong công nghệ phủ bề mặt, như CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, v.v.

Những lợi thế của các thành phần silicon bán dẫn vetek:

● Điện trở nhiệt độ cao (lên đến 1600)

● Độ dẫn nhiệt tuyệt vời và độ ổn định nhiệt

● Khả năng chống ăn mòn hóa học tốt

● Hệ số giãn nở nhiệt thấp

● Sức mạnh và độ cứng cao

● Đời sống dịch vụ lâu dài

Trong các lò oxy hóa và khuếch tán, do sự hiện diện của nhiệt độ cao và khí ăn mòn, nhiều thành phần đòi hỏi phải sử dụng các vật liệu nhiệt độ cao và chống ăn mòn, trong đó silicon cacbua (SIC) là một lựa chọn thường được sử dụng. Sau đây là các thành phần cacbua silicon phổ biến được tìm thấy trong lò oxy hóa và lò khuếch tán:

● Thuyền wafer

Thuyền wafer silicon cacbua là một thùng chứa được sử dụng để mang theo các tấm silicon, có thể chịu được nhiệt độ cao và sẽ không phản ứng với các tấm silicon.

● Ống lò

Ống lò là thành phần cốt lõi của lò khuếch tán, được sử dụng để chứa các tấm silicon và kiểm soát môi trường phản ứng. Các ống lò cacbua silicon có hiệu suất chống ăn mòn và nhiệt độ cao tuyệt vời.

● Tấm vách ngăn

Được sử dụng để điều chỉnh luồng khí và phân phối nhiệt độ bên trong lò

● ống bảo vệ cặp nhiệt điện

Được sử dụng để bảo vệ nhiệt độ đo các cặp nhiệt điện khỏi tiếp xúc trực tiếp với khí ăn mòn.

● Cantilever Paddle

Các mái chèo đúc hẫng cacbua silicon có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn, và được sử dụng để vận chuyển thuyền silicon hoặc thuyền thạch anh mang bánh silicon vào các ống lò khuếch tán.

● kim phun khí

Được sử dụng để đưa khí phản ứng vào lò, nó cần phải có khả năng chống lại nhiệt độ cao và ăn mòn.

● tàu sân bay

Hãng vận chuyển thuyền wafer silicon cacbua được sử dụng để sửa chữa và hỗ trợ các tấm silicon, có những ưu điểm như sức mạnh cao, khả năng chống ăn mòn và ổn định cấu trúc tốt.

● Cửa lò

Lớp phủ hoặc linh kiện silicon cacbua cũng có thể được sử dụng ở bên trong cửa lò.

● Phần tử sưởi ấm

Các yếu tố gia nhiệt cacbua silicon phù hợp với nhiệt độ cao, công suất cao và có thể nhanh chóng tăng nhiệt độ lên hơn 1000.

● Lớp lót sic

Được sử dụng để bảo vệ thành bên trong của các ống lò, nó có thể giúp giảm sự mất năng lượng nhiệt và chịu được môi trường khắc nghiệt như nhiệt độ cao và áp suất cao.

View as

Tàu chở thuyền wafer SiC có độ tinh khiết cao

Bán dẫn Vetek cung cấp tàu sân bay sic wafer có độ tinh khiết cao tùy chỉnh. Được làm bằng cacbua silicon có độ tinh khiết cao, nó có các khe để giữ wafer tại chỗ, ngăn không cho nó trượt trong quá trình xử lý. Lớp phủ CVD SIC cũng có sẵn nếu được yêu cầu. Là một nhà sản xuất và nhà cung cấp chất bán dẫn chuyên nghiệp và mạnh mẽ, tàu sân bay SIC Wafer tinh khiết cao của Vetek là cạnh tranh giá cả và chất lượng cao. Bán dẫn Vetek mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Có độ tinh khiết cao sic hicilever paddle

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất và nhà cung cấp sản phẩm mái chèo sic có độ tinh khiết cao ở Trung Quốc. Các mái chèo đúc hẫng sic có độ tinh khiết cao thường được sử dụng trong các lò khuếch tán chất bán dẫn như các nền tảng truyền hoặc tải wafer.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Cột dọc thuyền & bệ đỡ

Boat & bệ cột dọc của cột bán dẫn của Vetek được làm bằng vật liệu gốm thạch anh hoặc silicon carbon (SIC) cao cấp, với điện trở nhiệt độ cao tuyệt vời, độ ổn định hóa học và cường độ cơ học, và là thành phần lõi không thể thiếu trong quá trình sản xuất bán dẫn. Chào mừng bạn tham vấn thêm.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Thuyền wafer tiếp giáp

Thuyền wafer tiếp giáp vetek là một thiết bị tiên tiến để xử lý chất bán dẫn. Cấu trúc sản phẩm được thiết kế cẩn thận để đảm bảo xử lý và sản xuất hiệu quả các tấm chính xác. Veteksemi hỗ trợ các giải pháp sản phẩm tùy chỉnh và mong muốn được tư vấn của bạn.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Người mang wafer theo chiều ngang

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp chuyên nghiệp vòng dẫn hướng được phủ TaC, chất mang wafer SiC nằm ngang và bộ phận cảm ứng được phủ SiC tại Trung Quốc. Chúng tôi cam kết cung cấp hỗ trợ kỹ thuật hoàn hảo và các giải pháp sản phẩm tối ưu cho ngành bán dẫn. Chào mừng bạn đến liên hệ với chúng tôi.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Thuyền sic wafer

Thuyền wafer SiC được sử dụng để vận chuyển wafer, chủ yếu cho quá trình oxy hóa và khuếch tán, để đảm bảo nhiệt độ có thể được phân bổ đều trên bề mặt wafer. Độ ổn định nhiệt độ cao và độ dẫn nhiệt cao của vật liệu SiC đảm bảo quá trình xử lý chất bán dẫn hiệu quả và đáng tin cậy. Chất bán dẫn Vetek cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh.

Xem thêm >> Gửi yêu cầu >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Là một nhà sản xuất và nhà cung cấp chuyên nghiệp Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán tại Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng của chúng tôi. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng các nhu cầu cụ thể của khu vực của bạn hoặc muốn mua nâng cao và bền Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán được thực hiện tại Trung Quốc, bạn có thể để lại cho chúng tôi một tin nhắn.

Mã QR

Về chúng tôi

Các sản phẩm

Liên hệ chúng tôi

Điện thoại
+86-18069220752
Số fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Địa chỉ
Đường Wangda, đường Ziyang, Hạt Wuyi, Thành phố Jinhua, Tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

Trình đơn web

Tìm kiếm sản phẩm

Ngôn ngữ

Thoát khỏi menu

Quá trình oxy hóa và lò khuếch tán

Những lợi thế của các thành phần silicon bán dẫn vetek:

Tàu chở thuyền wafer SiC có độ tinh khiết cao

Có độ tinh khiết cao sic hicilever paddle

Cột dọc thuyền & bệ đỡ

Thuyền wafer tiếp giáp

Người mang wafer theo chiều ngang

Thuyền sic wafer

Gửi yêu cầu

Mã QR

Về chúng tôi

Các sản phẩm

Liên hệ chúng tôi

Điện thoại

Số fax

E-mail

Địa chỉ