Bệ silicon

Chất nhạy cảm silicon bán dẫn VeTek là sản phẩm silicon nguyên chất được thiết kế để đảm bảo sự ổn định nhiệt độ trong ống lò phản ứng nhiệt trong quá trình xử lý tấm silicon, từ đó cải thiện hiệu quả cách nhiệt. Xử lý tấm wafer silicon là một quá trình cực kỳ chính xác và nhiệt độ đóng một vai trò quan trọng, ảnh hưởng trực tiếp đến độ dày và tính đồng nhất của màng wafer silicon.

Bệ silicon nằm ở phần dưới của ống lò phản ứng nhiệt lò, hỗ trợ siliconchất mang wafertrong khi cung cấp cách nhiệt hiệu quả. Vào cuối quá trình, nó dần dần làm mát xuống nhiệt độ môi trường cùng với chất mang wafer silicon.

Chức năng và lợi ích cốt lõi của Bệ silicon bán dẫn VeTek:

Cung cấp hỗ trợ ổn định để đảm bảo độ chính xác của quy trình

Bệ silicon cung cấp bệ đỡ ổn định và chịu nhiệt cao cho thuyền silicon trong buồng lò nhiệt độ cao. Sự ổn định này có thể ngăn chặn hiệu quả thuyền silicon bị dịch chuyển hoặc nghiêng trong quá trình xử lý, từ đó tránh ảnh hưởng đến tính đồng nhất của luồng không khí hoặc phá hủy sự phân bố nhiệt độ, đảm bảo độ chính xác và tính nhất quán cao của quy trình.

Tăng cường tính đồng nhất nhiệt độ trong lò và cải thiện chất lượng wafer

Bằng cách cách ly thuyền silicon khỏi tiếp xúc trực tiếp với đáy lò hoặc tường, đế silicon có thể làm giảm mất nhiệt do dẫn truyền, do đó đạt được sự phân bố nhiệt độ đồng đều hơn trong ống phản ứng nhiệt. Môi trường nhiệt đồng đều này là rất cần thiết để đạt được tính đồng nhất của khuếch tán wafer và lớp oxit, cải thiện đáng kể chất lượng tổng thể của wafer.

Tối ưu hóa hiệu suất cách nhiệt và giảm tiêu thụ năng lượng

Đặc tính cách nhiệt tuyệt vời của vật liệu nền silicon giúp giảm thất thoát nhiệt trong buồng lò, từ đó cải thiện đáng kể hiệu suất năng lượng của quy trình. Cơ chế quản lý nhiệt hiệu quả này không chỉ đẩy nhanh chu trình sưởi ấm và làm mát mà còn giảm mức tiêu thụ năng lượng và chi phí vận hành, mang lại giải pháp tiết kiệm hơn cho sản xuất chất bán dẫn.

Thông số kỹ thuật của Bệ silicon bán dẫn VeTek

Cửa hàng sản xuất bệ silicon bán dẫn VeTek