Lò nung ép nóng chân không hạt giống cacbua silic

Công nghệ liên kết hạt SiC là một trong những quá trình then chốt có ảnh hưởngtăng trưởng tinh thể.VETEK đã phát triển một giải pháp chuyên biệtlò ép nóng chân khôngđể liên kết hạt giống dựa trên đặc điểm của quá trình này. Lò có thể giảm thiểu một cách hiệu quả các khuyết tật khác nhau được tạo ra trong quá trình liên kết hạt giống, từ đó cải thiện năng suất và chất lượng cuối cùng của thỏi tinh thể.

Giới thiệu

1. Lò được sử dụng để liên kết hạt giống trướcTăng trưởng tinh thể SiC

2. Hạt liên kết có thể được gắn chắc chắn ở nhiệt độ 2300oC, duy trì độ bám dính 100% không có bọt khí, có độ phẳng cao, bề mặt hạt sạch và không bị hấp phụ tạp chất

3. Dạng tấm được gia nhiệt được sử dụng khả năng chịu nhiệt của vùng gia nhiệt đồng đều, hình đĩa xoắn ốc, sử dụng tiết kiệm, dễ vận hành

4. Phần dưới của tấm tải được trang bị cảm biến lực, lực xuống trên phôi được hiển thị chính xác 

Giới thiệu chức năng

1. Buồng kim loại làm mát bằng nước của vách đôi giúp giảm nhiệt độ bề mặt bên ngoài của thân lò một cách hiệu quả, giảm thiểu tác hại của nhiệt độ cao và giảm tác động đến môi trường.

2. Nó có thể tự động tăng lực xuống và giữ lực, lực tải chậm và chuyển vị có thể được điều khiển tự động.

3. Có sẵn các cấu hình chân không đa dạng và có thể chọn các mức chân không khác nhau theo quy trình.

4. Áp suất đồng đều và độ chính xác kiểm soát nhiệt độ cao.

5. Cấu trúc lực ép xuống sử dụng thiết kế lực đẩy cơ học chính xác, đảm bảo lực ép xuống chính xác và ổn định, sử dụng an toàn và thân thiện với môi trường.

6. Con dấu xuống được kết nối với thanh đẩy theo cách "phổ quát". Đảm bảo khi phôi bị nén, bề mặt của tem xuống nằm ở trạng thái thích ứng song song với bề mặt của tấm gia nhiệt, đảm bảo phôi chịu lực ép xuống đồng đều.

7. Tem xuống có chức năng đệm lực tải xuống, cung cấp lực xuống mịn và mềm mà không bị va đập, do đó ngăn ngừa nứt phôi.

9. Cả tấm gia nhiệt và tem ép xuống đều được trang bị tấm chắn cách nhiệt để giảm sự thất thoát nhiệt độ không hiệu quả.

tham số

Tính năng

1. Bơm chân không chậm, điều chỉnh tốc độ bơm chân không

2. Buồng lớn, không gian nâng cấp lớn

3. Tem xuống chạy ổn định và hoạt động tự động

4. Lực ép xuống giảm chậm và tăng chậm, tăng lực ép xuống theo công thức điều khiển tự động

5. Kiểm soát nhiệt độ và lực ép xuống được lập trình chính xác

6. Các thông số về chân không, lực ép xuống và nhiệt độ có thể được thiết lập tự do để phù hợp với các quá trình liên kết khác nhau

7. Liên kết được nén chặt và không có bong bóng

8. Tỷ lệ nứt cực thấp, hầu như không có vết nứt do sự cố thiết bị

9. Tương thích với liên kết hạt 6-12 inch

10.Tối đa. Lực ép xuống: 1,6 T

11. Chân không tối đa: 5 Pa (lạnh)

12. Độ đồng đều nhiệt độ của dạng tấm được gia nhiệt:＜±3oC,σ<4（200oC)

13. Biến động áp suất :<0,5%