Thuyền silicon cacbide sic

Thuyền Wafer Veteksemonon là một tàu sân bay cốt lõi được thiết kế dành riêng cho các quá trình bán dẫn nhiệt độ cao. Sử dụng than chì được ép tinh khiết cao làm chất nền của nó, sản phẩm này sử dụng công nghệ lắng đọng hơi hóa học được cấp bằng sáng chế để tạo thành một lớp bảo vệ cacbua silicon dày đặc, không xốp trên bề mặt.

Lớp này kết hợp liền mạch độ dẫn nhiệt tuyệt vời của than chì với khả năng chống ăn mòn đặc biệt của cacbua silicon. Lớp phủ được kiểm soát nghiêm ngặt đạt được độ dày 80-120μm, chống lại sự ăn mòn hiệu quả từ các khí quyển axit và kiềm khác nhau, làm giảm đáng kể nguy cơ ô nhiễm kim loại. Nó duy trì tính ổn định cấu trúc và tính toàn vẹn kích thước ngay cả trong môi trường nhiệt độ cao, cung cấp sự bảo vệ và hỗ trợ đáng tin cậy cho các tấm wafer trong các quá trình quan trọng như quá trình oxy hóa, khuếch tán và tăng trưởng epiticular, kéo dài hiệu quả tuổi thọ wafer nhiều hơn ba lần so với các thuyền graphite thông thường.

. Thông số kỹ thuật

. Veteksemonon sic wafer thuyền lõi lõi

• Kháng ăn mòn tuyệt vời

Lớp phủ SIC trên thuyền wafer vetksemia được lắng đọng bằng quy trình CVD nhiệt độ cao độc quyền của chúng tôi, dẫn đến cấu trúc dày đặc, thống nhất hoàn toàn không có lỗ chân lông và vết nứt. Rào cản rắn này phân lập hiệu quả các tấm wafer khỏi môi trường lò. Khí quyển oxy hóa mạnh, các hợp chất fluorin và các loại khí ăn mòn khác không thấm vào lớp bảo vệ này. Điều này có nghĩa là các tấm wafer của bạn được bảo vệ khỏi sự ô nhiễm, trong khi chính chiếc thuyền vẫn còn nguyên vẹn thông qua các quá trình cực đoan lặp đi lặp lại, kéo dài đáng kể tuổi thọ dịch vụ của nó.

• Vật liệu độ tinh khiết cực cao

Chúng tôi hiểu rằng ngay cả sự ô nhiễm nhỏ nhất cũng có thể khiến toàn bộ hàng loạt wafer trở nên vô dụng. Do đó, veteksemonon kiểm soát nghiêm ngặt các nguyên liệu thô, sử dụng than chì ép isost được nhập khẩu với độ tinh khiết vượt quá 99,9995% làm chất nền. Lớp phủ SIC lắng đọng trên chất nền này cũng đạt được độ tinh khiết 99,999%, với các tạp chất quan trọng như natri, kali, sắt và kim loại nặng giữ ở mức cực thấp (PPB). Độ tinh khiết gần nội tại này đảm bảo không có chất gây ô nhiễm nào được giải phóng ở nhiệt độ cao, về cơ bản loại bỏ nguy cơ suy thoái hiệu suất của thiết bị do các vấn đề liên quan đến sóng mang.

• Sự ổn định nhiệt tuyệt vời

Sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi các quy trình nhiệt cực kỳ phù hợp. Hệ số mở rộng nhiệt của Thuyền Wafer Wafer được thiết kế tỉ mỉ để phù hợp chặt chẽ với các tấm silicon. Trong quá trình sưởi ấm và làm mát nhanh chóng, thuyền và wafer di chuyển đồng bộ, làm giảm đáng kể nguy cơ khuyết tật mạng và cong vênh do căng thẳng nhiệt. Nó có thể chịu được nhiệt độ hoạt động liên tục lên tới 1600, duy trì cường độ cơ học tuyệt vời và độ ổn định kích thước ngay cả ở những nhiệt độ cao này. Điều này đảm bảo khả năng lặp lại và độ tin cậy trong mỗi quá trình chạy, cung cấp một nền tảng vững chắc để kiểm soát dung nạp trong sản xuất chip.

• Sức mạnh cơ học bền bỉ

Giá trị của các sản phẩm của chúng tôi không chỉ nằm trong khoản đầu tư ban đầu mà còn trong chi phí sở hữu dài hạn. So với các thành phần thạch anh hoặc than chì truyền thống, các thuyền wafer vetksemonon sic cung cấp khả năng chống va chạm và va chạm đặc biệt. Độ cứng bề mặt cao của chúng chống lại các vết trầy xước và mảnh vụn trong quá trình xử lý và làm sạch. Độ bền này cho phép họ dễ dàng chịu được 200 chu kỳ quy trình nhiệt độ cao và các quy trình làm sạch cần thiết, giảm đáng kể chi phí mua sắm, chi phí hàng tồn kho và thời gian ngừng hoạt động của thiết bị liên quan đến thay thế thành phần thường xuyên.

• Chứng minh chuỗi sinh thái

Xác minh chuỗi sinh thái của Veteksemonon SIC Wafer bao gồm các nguyên liệu thô để sản xuất, đã thông qua chứng nhận tiêu chuẩn quốc tế và có một số công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo độ tin cậy và tính bền vững của nó trong các trường bán dẫn và năng lượng mới.

. Trường ứng dụng chính

Để biết thông số kỹ thuật chi tiết, giấy trắng hoặc sắp xếp thử nghiệm mẫu, vui lòng liên hệ với nhóm hỗ trợ kỹ thuật của chúng tôi để khám phá cách Veteksemon có thể nâng cao hiệu quả quy trình của bạn.

Kho Veteksemon