Các sản phẩm
Cánh tay robot cacbua silicon
  • Cánh tay robot cacbua siliconCánh tay robot cacbua silicon
  • Cánh tay robot cacbua siliconCánh tay robot cacbua silicon

Cánh tay robot cacbua silicon

Cánh tay robot silicon cacbua (SIC) của chúng tôi được thiết kế để xử lý wafer hiệu suất cao trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Được làm từ cacbua silicon có độ tinh khiết cao, cánh tay robot này cung cấp khả năng chống lại nhiệt độ cao, ăn mòn huyết tương và tấn công hóa học, đảm bảo hoạt động đáng tin cậy trong môi trường phòng sạch. Sức mạnh cơ học đặc biệt và độ ổn định kích thước của nó cho phép xử lý wafer chính xác trong khi giảm thiểu rủi ro ô nhiễm, làm cho nó trở thành một lựa chọn lý tưởng cho MOCVD, epitax, cấy ion và các ứng dụng xử lý wafer quan trọng khác. Chúng tôi hoan nghênh yêu cầu của bạn.

Cánh tay robot cacbua silicon của Vetekemon là một giải pháp xử lý bán dẫn cao cấp được thiết kế dành riêng cho môi trường công nghiệp khắc nghiệt. Sử dụng công nghệ vật liệu cacbua silicon có độ tinh khiết cao tiên tiến, nó cho thấy độ ổn định và độ bền đặc biệt trong nhiệt độ cao, môi trường ăn mòn và điều kiện chân không cực cao. Là một thành phần chính trong xử lý wafer, khắc và lắng đọng, cánh tay robot của chúng tôi cải thiện đáng kể năng suất và giảm chi phí bảo trì.


. Thông số kỹ thuật


Dự án
Tham số
Vật liệu
Độ tinh khiết cao sic
Độ cứng bề mặt
2800-3200 HV
Khả năng tải
3kg/5kg/10kg (có sẵn thông số kỹ thuật khác nhau)
Độ dẫn nhiệt
Độ dẫn nhiệt
Điện trở suất
10^3-10^5; cm
Môi trường áp dụng
Nhiệt độ cao, huyết tương, khí ăn mòn, chân không siêu cao
Lặp lại độ chính xác định vị
± 0,02mm

. Veteksemicon silicon cacbua robot lợi thế lợi thế


1. Khả năng chịu đựng môi trường cực đoan

Cánh tay robot của chúng tôi sử dụng lớp phủ SIC được công thức duy nhất trải qua nhiều quá trình lắng đọng nhiệt độ cao, cho phép nó duy trì tính toàn vẹn cấu trúc ở nhiệt độ duy trì 1500 ° C và chống ăn mòn hiệu quả từ bắn phá huyết tương và môi trường axit và kiềm mạnh. Điều này về cơ bản giải quyết các điểm đau của các vật liệu truyền thống dễ bị lão hóa và có tuổi thọ ngắn trong điều kiện làm việc cực đoan.


2. Tính chất cơ học tuyệt vời

Bằng cách áp dụng cấu trúc tổng hợp của chất nền than chì và lớp phủ SIC, chúng tôi đã đạt được độ cứng vượt xa so với vật liệu kim loại trong khi đảm bảo cánh tay cực kỳ nhẹ. Thiết kế này đảm bảo rằng biến dạng của cánh tay robot cực kỳ nhỏ trong chuyển động đối ứng tốc độ cao, triệt tiêu hiệu quả jitter, do đó kiểm soát chắc chắn độ chính xác định vị lặp lại trong phạm vi ± 0,02mm, đảm bảo việc truyền tải chính xác an toàn.


3. Độ sạch cực cao

Chúng tôi hiểu rằng ô nhiễm hạt là kẻ giết người số một của năng suất. Do đó, mỗi cánh tay robot trải qua đánh bóng chính xác và xử lý bề mặt chuyên dụng, dẫn đến độ nhám bề mặt RA dưới 0,1μm. Lớp phủ tuân thủ an toàn, ngăn chặn mọi nguy cơ bong tróc. Các sản phẩm của chúng tôi được thử nghiệm sạch sẽ 100%, đáp ứng đầy đủ các yêu cầu phòng sạch cực cao và sẵn sàng sử dụng trong các dây chuyền sản xuất hiện đại.


4. Cuộc sống phục vụ lâu dài

Nhờ độ cứng vốn có của SIC là 3000 HV và khả năng chống mài mòn tuyệt vời, Robot Arms của chúng tôi trải nghiệm sự suy giảm hiệu suất tối thiểu ngay cả sau hàng chục ngàn chu kỳ chuyển động. Tuổi thọ dịch vụ của họ nhiều lần so với các thành phần hợp kim gốm hoặc nhôm thông thường, giảm đáng kể thời gian chết để thay thế và bảo trì, mang lại hiệu quả chi phí tổng thể đáng kể cho khách hàng của chúng tôi.


. Trường ứng dụng chính


Hướng ứng dụng
Kịch bản điển hình
SSản xuất Emiconductor
Xử lý, chuyển và định vị wafer
LED sản xuất
Các thành phần buồng phản ứng MOCVD
Công nghiệp quang điện
PECVD, quá trình khuếch tán
Không gian vũ trụ
Xử lý tự động trong môi trường kiểm tra nhiệt độ cao

Xác minh chuỗi sinh thái của Veteksemia silicon cacbua bao gồm các nguyên liệu thô để sản xuất, đã thông qua chứng nhận tiêu chuẩn quốc tế, và có một số công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo độ tin cậy và tính bền vững của nó trong các trường bán dẫn và các trường năng lượng mới. Chào mừng bạn đến tham khảo ý kiến ​​chúng tôi bất cứ lúc nào.


Veteksemicon products shop

Thẻ nóng: Cánh tay robot cacbua silicon
Gửi yêu cầu
Thông tin liên lạc
  • Địa chỉ

    Đường Wangda, đường Ziyang, Hạt Wuyi, Thành phố Jinhua, Tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

  • điện thoại

    +86-18069220752

Nếu có thắc mắc về Lớp phủ silicon cacbua, Lớp phủ cacbua Tantalum, Than chì đặc biệt hoặc bảng giá, vui lòng để lại email của bạn cho chúng tôi và chúng tôi sẽ liên hệ trong vòng 24 giờ.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept