Lớp phủ Tac cacbua Tac là gì? - Veteksemonon

Carbide tantalum (TAC) là gì?

Vật liệu gốm Tantalum cacbua (TAC) có điểm nóng chảy lên tới 3880 và là một hợp chất có điểm nóng chảy cao và độ ổn định hóa học tốt. Nó có thể duy trì hiệu suất ổn định trong môi trường nhiệt độ cao. Ngoài ra, nó cũng có khả năng chống nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn hóa học và khả năng tương thích hóa học và cơ học tốt với vật liệu carbon, làm cho nó trở thành vật liệu phủ chất nền than chì lý tưởng. 

Lớp phủ cacbua tantalumcó thể bảo vệ hiệu quả các thành phần than chì khỏi tác động của amoniac nóng, hydro, hơi silicon và kim loại nóng chảy trong môi trường sử dụng khắc nghiệt, kéo dài đáng kể tuổi thọ của các thành phần than chì và ngăn chặn sự di chuyển của tạp chất trong than chì, đảm bảo chất lượng củaepitaxialVàTăng trưởng tinh thể.

Hình 1. Các thành phần phủ cacbua tantalum phổ biến

Chuẩn bị lớp phủ TAC theo quy trình CVD

Sự lắng đọng hơi hóa học (CVD) là phương pháp trưởng thành và tối ưu nhất để sản xuất lớp phủ TAC trên bề mặt than chì.

Sử dụng TACL5 và propylene làm nguồn carbon và tantalum tương ứng, và argon làm khí mang, hơi nước hóa nhiệt độ cao TACL5 được đưa vào buồng phản ứng. Ở nhiệt độ và áp suất mục tiêu, hơi chất liệu chất liệu chất liệu hấp phụ trên bề mặt than chì, trải qua một loạt các phản ứng hóa học phức tạp như phân hủy và kết hợp các nguồn carbon và tantalum, cũng như một loạt các phản ứng bề mặt như khuếch tán và giải hấp các sản phẩm phụ của tiền thân. Cuối cùng, một lớp bảo vệ dày đặc được hình thành trên bề mặt than chì, bảo vệ than chì khỏi sự tồn tại ổn định trong điều kiện môi trường khắc nghiệt và mở rộng đáng kể các kịch bản ứng dụng của vật liệu than chì.

Hình 2.Nguyên tắc xử lý hơi hóa học (CVD)

Để biết thêm thông tin về các nguyên tắc và quy trình chuẩn bị lớp phủ CVD TAC, vui lòng tham khảo bài viết:Làm thế nào để chuẩn bị lớp phủ CVD TAC?

Tại sao chọn Veteksemonon?

Bán kếtChủ yếu cung cấp các sản phẩm cacbua tantalum: vòng hướng dẫn TAC, TAC phủ ba cánh hoa,TAC Lớp phủ nồi nấu kim loại, Than chì xốp lớp phủ TAC được sử dụng rộng rãi là quá trình tăng trưởng tinh thể SIC; Chân than xốp với vòng phủ TAC, vòng hướng dẫn phủ TAC,Tac phủ than chì bằng wafer, TAC Lớp phủ Tỷ xạ,hành tinh nhạy cảmVà các sản phẩm phủ cacbua tantalum này được sử dụng rộng rãi trongQuá trình epitaxy sicVàQuá trình tăng trưởng tinh thể đơn sic.

Hình 3.Bác sĩ thú yCác sản phẩm lớp phủ cacbua tantalum phổ biến nhất của EK SemicDuctor