TAC Lớp phủ nồi nấu kim loại

Thỏa thuận của chất bán dẫnCVD TAC phủi hànhThường đóng các vai trò khóa sau trong quá trình tăng trưởng tinh thể đơn của phương pháp PVT:

Phương pháp PVT đề cập đến việc đặt một tinh thể hạt sic lên trên đầu của nồi nấu kim loại TAC, và đặt bột sic làm nguyên liệu thô ở dưới cùng của nồi nấu kim loại. Trong một môi trường khép kín có nhiệt độ cao và áp suất thấp, bột sic thăng hoa, và dưới tác động của độ dốc nhiệt độ và sự khác biệt nồng độ,Bột sicđược chuyển đến vùng lân cận của tinh thể hạt giống, và đạt đến trạng thái siêu bão hòa sau khi kết tinh lại. Do đó, phương pháp PVT có thể đạt được sự tăng trưởng có thể kiểm soát được kích thước tinh thể SIC và dạng tinh thể cụ thể.

● Sự ổn định nhiệt của sự phát triển tinh thể

Vetek bán dẫn TAC được phủ các loại cây trồng có độ ổn định nhiệt tuyệt vời (có thể vẫn ổn định dưới 2200), giúp duy trì tính toàn vẹn cấu trúc của chúng ngay cả ở nhiệt độ cực kỳ cao cần thiết cho sự phát triển tinh thể đơn. Thuộc tính vật lý này cho phép SIC phủ than chì SIC để kiểm soát chính xác quá trình tăng trưởng tinh thể, dẫn đến các tinh thể không đồng nhất và không khuyết tật.

● Rào cản hóa học tuyệt vời

Cây ăn tựa phủ TAC kết hợp lớp phủ cacbua tantalum với lò nướng than chì có độ tinh khiết cao để cung cấp khả năng kháng tuyệt vời đối với một loạt các hóa chất ăn mòn và vật liệu nóng chảy thường gặp trong quá trình tăng trưởng tinh thể đơn sic. Tài sản này là rất quan trọng để đạt được các tinh thể chất lượng cao với các khiếm khuyết tối thiểu.

● Các rung động giảm xóc cho môi trường tăng trưởng ổn định

Các đặc tính giảm xóc tuyệt vời của TAC được phủ nồi nấu kim loại giảm thiểu các rung động và sốc nhiệt trong nồi nấu kim loại than chì, góp phần thêm vào môi trường tăng trưởng tinh thể ổn định và được kiểm soát. Bằng cách giảm thiểu các nguồn nhiễu tiềm năng này, lớp phủ TAC cho phép sự phát triển của các tinh thể lớn hơn, đồng đều hơn với mật độ khiếm khuyết giảm, cuối cùng làm tăng năng suất thiết bị và cải thiện hiệu suất của thiết bị.

● Độ dẫn nhiệt tuyệt vời

Các hình chữ thập được phủ của Vetekemon có độ dẫn nhiệt tuyệt vời, giúp than chì than chì truyền nhiệt nhanh chóng và đồng đều. Điều này xác định sự kiểm soát chính xác của nhiệt độ trong suốt quá trình tăng trưởng tinh thể, giảm thiểu các khuyết tật tinh thể gây ra bởi độ dốc nhiệt.

Lớp phủ cacbua tantalum (TAC) trên mặt cắt bằng kính hiển vi

Tính chất vật lý củaLớp phủ cacbua tantalum

Cửa hàng sản xuất bán dẫn vetek