Vòng phủ cacbua tantalum

Vòng bán dẫn bán dẫn vetek được chế tạo từthan chìvà được phủ bằng cacbua tantalum, một sự kết hợp tận dụng các tính chất tốt nhất của cả hai vật liệu để đảm bảo hiệu suất vượt trội và tuổi thọ. 

Lớp phủ TAC trên vòng phủ cacbua tantalum đảm bảo rằng nó vẫn trơ về mặt hóa học trong khí quyển phản ứng của các lò tăng trưởng tinh thể SIC, thường liên quan đến các loại khí như hydro, argon và nitơ. Sự trơ hóa hóa học này là rất quan trọng để ngăn ngừa bất kỳ sự ô nhiễm của tinh thể đang phát triển, có thể dẫn đến khiếm khuyết và giảm hiệu suất của các sản phẩm bán dẫn cuối cùng. Ngoài ra, độ ổn định nhiệt do lớp phủ TAC cung cấp cho phép vòng phủ cacbua tantalum hoạt động hiệu quả ở nhiệt độ cao cần thiết cho sự phát triển của tinh thể SIC, thường vượt quá 2000 ° C.

Lớp phủ TAC dày đặc và đồng nhất có thể được điều chế trên bề mặt than chì bằng cách phun plasma, phương pháp CVD và phương pháp thiêu kết bùn, nhưng phương pháp phun plasma có yêu cầu thiết bị cao và hình thành TA2C. Rất khó để chuẩn bị lớp phủ composite bằng phương pháp thiêu kết bùn, và điện trở sốc nhiệt của lớp phủ là kém. Lớp phủ được chuẩn bị bằng phương pháp CVD có thành phần có thể kiểm soát và mật độ cao nhất, đây là phương pháp phủ cacbua tantalum phổ biến hiện nay.

Các tính chất cơ học của TAC làm giảm đáng kể hao mòn trên vòng phủ cacbua tantalum. Điều này rất quan trọng do tính chất lặp đi lặp lại của quá trình tăng trưởng tinh thể, cho thấy vòng dẫn hướng đến các chu kỳ nhiệt thường xuyên và ứng suất cơ học. Độ cứng và khả năng chống mài mòn của TAC đảm bảo rằng vòng phủ TAC duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và kích thước chính xác trong thời gian dài, giảm thiểu nhu cầu thay thế thường xuyên và giảm thời gian chết trong quá trình sản xuất. 

Mật độ khối của lớp phủ cacbua tantalum là 14,3gm/cm3, độ phát xạ 0,3, độ cứng là 2000hk, điểm nóng chảy là 3950s, và tính chất vật lý tốt đã được chọn làm vật liệu phổ biến cho thế hệ bán dẫn thứ ba.

Ngoài ra, sự kết hợp của than chì và TAC trong vòng phủ cacbua tantalum tối ưu hóa quản lý nhiệt trong lò tăng trưởng tinh thể. Độ dẫn nhiệt cao của than chì phân phối nhiệt hiệu quả, ngăn chặn các điểm nóng và thúc đẩy sự phát triển tinh thể đồng đều. Trong khi đó, lớp phủ TAC đóng vai trò là hàng rào nhiệt, bảo vệ lõi than chì khỏi tiếp xúc trực tiếp với nhiệt độ cao và khí phản ứng. Sự tổng hợp này giữa các vật liệu lõi và lớp phủ dẫn đến một vòng hướng dẫn không chỉ chịu được các điều kiện khắc nghiệt củaTăng trưởng tinh thể sicnhưng cũng tăng cường hiệu quả và chất lượng tổng thể của quá trình.

Vòng bán dẫn bán dẫn vetek là một thành phần thiết yếu trong ngành công nghiệp bán dẫn, được thiết kế đặc biệt cho sự phát triển củaTinh thể cacbua silicon. Thiết kế của nó khai thác các điểm mạnh của than chì và cacbua tantalum để mang lại hiệu suất đặc biệt trong môi trường căng thẳng cao, nhiệt độ cao. Lớp phủ TAC đảm bảo tính trơ hóa học, độ bền cơ học và độ ổn định nhiệt, tất cả đều rất quan trọng để tạo ra các tinh thể SIC chất lượng cao. Bằng cách duy trì tính toàn vẹn và chức năng của nó trong điều kiện khắc nghiệt, vòng hỗ trợ sự phát triển hiệu quả và không có khuyết tật của các tinh thể SIC, góp phần vào sự tiến bộ của các thiết bị bán dẫn tần số cao và năng lượng cao.

Bán dẫn Vetek là nhà sản xuất và nhà cung cấp hàng đầu củaLớp phủ cacbua tantalum, Lớp phủ cacbua siliconVàThan chì đặc biệtở Trung Quốc. Chúng tôi từ lâu đã cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn, và chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Lớp phủ cacbua tantalum (TAC)trên mặt cắt bằng kính hiển vi：

Tổng quan vềChuỗi ngành công nghiệp epitaxy bán dẫn：