Vòng phủ TAC

Vetksemi TAC Vòng phủ là một thành phần hiệu suất cao phù hợp với các quy trình sản xuất chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua tantalum (TAC) được thiết kế độc đáo của nó mang lại cho sản phẩm khả năng chống nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn và ổn định cơ học, cải thiện đáng kể tuổi thọ và độ tin cậy của các thành phần than chì trong thiết bị bán dẫn.

Hiệu suất vượt trội của lớp phủ cacbua tantalum

● Điện trở nhiệt độ cực cao: Lớp phủ TAC có thể dễ dàng chịu được nhiệt độ cực cao lên tới 2200 ° C và vẫn ổn định trong môi trường sốc nhiệt phổ biến trong sản xuất chất bán dẫn.

● Độ ổn định hóa học tuyệt vời: Lớp phủ cho thấy khả năng kháng mạnh đối với các khí ăn mòn phổ biến như hydro, amoniac, silane và silicon, bảo vệ hiệu quả chất nền khỏi tấn công hóa học.

● Tính chất cơ học tuyệt vời: Lớp phủ TAC có độ cứng cao, khả năng chống mài mòn cao và khả năng chống sốc nhiệt tốt, và có thể hoạt động ổn định trong một thời gian dài trong điều kiện làm việc khắc nghiệt.

● Độ bám dính tuyệt vời: Lớp phủ được liên kết chặt chẽ với chất nền than chì, ngăn chặn hiệu quả lớp phủ bị bong tróc và đảm bảo hiệu suất nhất quán trong suốt thời gian phục vụ của sản phẩm.

● Độ tinh khiết cao: Lớp phủ TAC được chuẩn bị bởi CVD có độ tinh khiết cực kỳ cao, giúp giảm thiểu việc giới thiệu tạp chất và cung cấp môi trường quy trình sạch để sản xuất chất bán dẫn.

Ưu điểm của vòng phủ cacbua tantalum:

● Đời sống thiết bị mở rộng: Lớp phủ TAC ngăn chặn hiệu quả các phản ứng hóa học và khuếch tán tạp chất, kéo dài đáng kể tuổi thọ dịch vụ của các thành phần than chì và giảm chi phí bảo trì.

● Cải thiện hiệu quả sản xuất: Khả năng chống ăn mòn và kháng nhiệt độ cao của sản phẩm cho phép nó hoạt động trong các điều kiện đòi hỏi khắt khe hơn, rút ​​ngắn chu kỳ sản xuất và tăng công suất sản xuất.

● Chất lượng sản phẩm được cải thiện: Lớp phủ TAC có độ tinh khiết cao giúp giảm ô nhiễm, đảm bảo chất lượng và tính nhất quán của các sản phẩm bán dẫn.

Chất bán dẫn Vetek đã được chuyên về các sản phẩm phủ TAC nhưTac Coating Chuck, Tấm quay lớp phủ TAC, TAC Lớp phủ Tiểu mục, Tac phủ wafer M cảmtrong nhiều năm. Các sản phẩm vòng phủ TAC của chúng tôi có các chức năng của tuổi thọ thiết bị mở rộng, cải thiện hiệu quả sản xuất và chất lượng sản phẩm được cải thiện. Đồng thời, bộ bán dẫn Vetek từ lâu đã cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn. 

Do các tính chất hóa học khác nhau của vật liệu cacbua than chì và tantalum, hệ số giãn nở nhiệt sẽ không khớp và dễ được làm nóng ở nhiệt độ cao bởi chất bán dẫn vetek thông qua một quá trình cụ thể để thúc đẩy sự hình thành lớp phủ cacbua Tantalum. Theo cách này, lớp phủ cacbua tantalum được lồng chặt chẽ trong ma trận than chì thông qua sự tăng trưởng tại chỗ, làm tăng đáng kể lực liên kết giữa lớp phủ và ma trận và ngăn chặn hiệu quả sự bong tróc của lớp phủ cacbua tantalum. Chúng tôi chân thành hy vọng trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Cửa hàng vòng tráng Tantalum cacbua: