Máy sưởi VEECO MOCVD

Máy sưởi Veteksemi's Veeco MOCVD được làm bằng vật liệu than chì có độ tinh khiết cao với hàm lượng tạp chất được kiểm soát nghiêm ngặt dưới 5 ppm và được phủ bằng cacbua silicon cực kỳ cao (SIC) với độ tinh khiết hơn 99,9995% thông qua mộtQuá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Sự kết hợp vật liệu này cung cấp cho máy sưởi một loạt các thuộc tính chính đảm bảo hiệu suất tuyệt vời của nó trongSự lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD)quá trình.

Một trong những tính năng nổi bật của máy sưởi Veeco MOCVD là độ tinh khiết hóa học phi thường của nó. Lõi than chì tinh khiết cao làm giảm đáng kể sự ra đời tiềm năng của các chất gây ô nhiễm trong quá trình nhiệt độ cao, đảm bảo một quá trình lắng đọng màng cực kỳ sạch sẽ. CácCVD SIC Lớp phủCung cấp bảo vệ bổ sung cho lò sưởi, tạo thành một rào cản mạnh mẽ để ngăn chặn các phản ứng hóa học có thể làm hỏng chất lượng phim. Độ tinh khiết vô song này là điều cần thiết để sản xuất các thiết bị bán dẫn hiệu suất cao, đáng tin cậy.

Đồng thời, lò sưởi thể hiện sự ổn định và hiệu quả nhiệt cực cao. SiC có điểm nóng chảy cao và độ dẫn nhiệt tuyệt vời, cho phép lò sưởi quản lý và dẫn nhiệt hiệu quả. Điều này đảm bảo sự gia nhiệt đồng đều trên toàn bộ bề mặt, từ đó giúp đạt được sự lắng đọng màng đồng đều và giảm các khuyết tật do gradient nhiệt gây ra. Hiệu suất nhiệt như vậy đặc biệt quan trọng đối với sản xuất chính xác.

Máy sưởi VEECO MOCVD cũng vượt trội về hiệu suất điện. Lõi than chì có độ tinh khiết cao của nó có tính dẫn điện tuyệt vời, cho phép lò sưởi xử lý các yêu cầu tải điện cao. Hiệu suất điện ổn định này cho phép bộ gia nhiệt duy trì tốc độ lắng đọng và kiểm soát nhiệt độ chính xác trong điều kiện tải cao, điều này rất quan trọng để đảm bảo các điều kiện quy trình nhất quán và cải thiện hiệu quả sản xuất chất bán dẫn.

Thiết kế bề mặt của lò sưởi đã được tối ưu hóa cẩn thận để có độ phát xạ chất nền cao, giúp cải thiện đáng kể hiệu quả truyền nhiệt bức xạ. Khả năng làm nóng đều là một yếu tố chính trong việc đảm bảo độ dày và đặc điểm lắng đọng màng nhất quán. Thiết kế bề mặt phát xạ cao cũng cải thiện hiệu suất nhiệt tổng thể của lò sưởi, do đó giảm mức tiêu thụ năng lượng và giảm chi phí vận hành.

Về độ bền, lò sưởi VEECO MOCVD của Veteksemi thể hiện khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, kháng oxy hóa và cường độ cơ học. Lớp phủ CVD SIC cung cấp một rào cản vững chắc cho các khí và hóa chất ăn mòn phổ biến trong các quá trình MOCVD, do đó kéo dài tuổi thọ của thiết bị và giảm nhu cầu bảo trì và chi phí thay thế. Điện trở oxy hóa của nó đảm bảo rằng lò sưởi vẫn ổn định ở nhiệt độ cao mà không bị suy giảm hiệu suất, đảm bảo sự ổn định lâu dài.

Ngoài ra, độ bền cơ học cao của bộ gia nhiệt MOCVD của VeTeksemi cho phép nó chịu được các ứng suất vật lý tạo ra trong quá trình luân chuyển nhiệt và xử lý chất nền. Độ bền của nó giúp giảm nguy cơ hỏng hóc cơ học và đảm bảo thiết bị vận hành đáng tin cậy trong các điều kiện quy trình khắc nghiệt.

Là nhà sản xuất và nhà cung cấp các sản phẩm nóng Veeco MOCVD, Veteksemi cũng cung cấp nhiều sản phẩm nóng chất lượng cao nhưMáy sưởi lớp phủ TAC, lớp phủ gốm silicc cacbua, lò sưởi phủ gốm silicon cacbua, v.v. VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến, có thể tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ là đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.