Chất nhạy cảm được phủ CVD Tantalum Carbide(TaC)

Các tính năng chính

Ứng dụng

Các ứng dụng điển hình bao gồm:

• Tăng trưởng epiticular SiC

• Epitaxy GaN MOCVD

• Tăng trưởng epiticular AlN

• Sản xuất chất bán dẫn thế hệ thứ ba

• Điện tử công suất cao

• Thiết bị RF

• Sản xuất MicroLED

• Hệ thống nghiên cứu và sản xuất thí điểm

Thiết bị tương thích

Các nền tảng tương thích bao gồm:

• Aixtron

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• Lò phản ứng CVD & MOCVD tùy chỉnh

Cũng có sẵn:

• Người vận chuyển bánh xốp

• Chất nhạy cảm hành tinh

• Chất nhạy cảm thùng

• Đĩa quay

• Phần nửa vầng trăng

• Tấm bìa

• Tổ hợp than chì

• Các thành phần trường nhiệt tùy chỉnh

Thông số kỹ thuật

Câu hỏi thường gặp

1. Chất cảm ứng phủ CVD TaC là gì?

Thành phần than chì có độ tinh khiết cao được bảo vệ bởi lớp phủ CVD TaC dày đặc được sử dụng làm chất mang bán dẫn trong quá trình tăng trưởng epiticular.

2. Tại sao nên sử dụng coa TaCting thay vì lớp phủ SiC?

TaC có khả năng chịu nhiệt độ cao hơn, độ ổn định hóa học vượt trội và tuổi thọ dài hơn.

3.Những quy trình bán dẫn nào sử dụng TaC-cdễ bị oated?

Epit Wax SiC, GaN MOCVD, epit Wax AlN và các quá trình phát triển tinh thể ở nhiệt độ cao khác.

4. VETEK có thể sản xuất các thiết bị cảm ứng tùy chỉnh không?

Đúng. Chúng tôi cung cấp các thiết kế tùy chỉnh dựa trên bản vẽ của khách hàng và yêu cầu quy trình.

5. Những thương hiệu lò phản ứng nào được hỗ trợ?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare và các hệ thống chính thống khác.