Lớp phủ TAC là gì? - Chất bán dẫn Vetek

Lớp phủ TAC (Lớp phủ cacbua tantalum) là một vật liệu phủ hiệu suất cao được sản xuất bởi quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Do tính chất tuyệt vời của lớp phủ TAC trong điều kiện khắc nghiệt, nó được sử dụng rộng rãi trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong các thiết bị và các thành phần đòi hỏi nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn mạnh. Lớp phủ TAC thường được sử dụng để bảo vệ chất nền (như than chì hoặc gốm sứ) khỏi thiệt hại bằng nhiệt độ cao, khí ăn mòn và hao mòn cơ học.

Tính chất vật lý của lớp phủ TAC

Tính năng sản phẩm và lợi thế

● Độ ổn định nhiệt cực cao:

Mô tả tính năng: Lớp phủ TAC có điểm nóng chảy hơn 3880 ° C và có thể duy trì sự ổn định mà không bị phân hủy hoặc biến dạng trong môi trường nhiệt độ cực cao.

Ưu điểm: Điều này làm cho nó trở thành một vật liệu không thể thiếu trong các thiết bị bán dẫn ở nhiệt độ cao như lớp phủ CVD TAC và TAC phủ lớp phủ, đặc biệt đối với các ứng dụng trong các lò phản ứng MOCVD, như thiết bị Aixtron G5.

● Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời:

Mô tả tính năng: TAC có sự trơ hóa học cực mạnh và có thể chống lại sự xói mòn của các khí ăn mòn như clorua và fluoride.

Ưu điểm: Trong các quá trình bán dẫn liên quan đến các hóa chất ăn mòn cao, lớp phủ TAC bảo vệ các thành phần thiết bị khỏi tấn công hóa học, kéo dài tuổi thọ và cải thiện sự ổn định của quá trình, đặc biệt là trong việc áp dụng thuyền wafer silicon cacbide và các thành phần quan trọng khác.

● Độ cứng cơ học tuyệt vời:

Mô tả tính năng: Độ cứng của lớp phủ TAC cao tới 9-10 mohs, khiến nó chống lại hao mòn cơ học và ứng suất nhiệt độ cao.

Ưu điểm: Thuộc tính độ cứng cao làm cho lớp phủ TAC đặc biệt phù hợp để sử dụng trong môi trường có độ mòn cao và căng thẳng cao, đảm bảo sự ổn định lâu dài và độ tin cậy của thiết bị trong điều kiện khắc nghiệt.

● Phản ứng hóa học thấp:

Mô tả tính năng: Do tính trơ hóa học của nó, lớp phủ TAC có thể duy trì khả năng phản ứng thấp trong môi trường nhiệt độ cao và tránh các phản ứng hóa học không cần thiết với khí phản ứng.

Ưu điểm: Điều này đặc biệt quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn vì nó đảm bảo độ tinh khiết của môi trường quá trình và sự lắng đọng chất lượng cao của vật liệu.

Vai trò của lớp phủ TAC trong quá trình bán dẫn

● Bảo vệ các thành phần thiết bị chính:

Mô tả chức năng: Lớp phủ TAC được sử dụng rộng rãi trong các thành phần chính của thiết bị sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như bộ nhớ phủ TAC, cần phải hoạt động trong điều kiện khắc nghiệt. Bằng cách phủ bằng TAC, các thành phần này có thể hoạt động trong thời gian dài trong môi trường nhiệt độ cao và khí ăn mòn mà không bị hư hại.

● Mở rộng tuổi thọ thiết bị:

Mô tả chức năng: Trong các thiết bị MOCVD như Aixtron G5, lớp phủ TAC có thể cải thiện đáng kể độ bền của các thành phần thiết bị và giảm nhu cầu bảo trì và thay thế thiết bị do ăn mòn và hao mòn.

● Tăng cường sự ổn định của quá trình:

Mô tả chức năng: Trong sản xuất chất bán dẫn, lớp phủ TAC đảm bảo tính đồng nhất và tính nhất quán của quá trình lắng đọng bằng cách cung cấp một môi trường hóa học và nhiệt độ cao ổn định. Điều này đặc biệt quan trọng trong các quá trình tăng trưởng epiticular như silicon epitaxy và gallium nitride (GAN).

● Cải thiện hiệu quả quá trình:

Mô tả chức năng: Bằng cách tối ưu hóa lớp phủ trên bề mặt của thiết bị, lớp phủ TAC có thể cải thiện hiệu quả tổng thể của quy trình, giảm tốc độ khuyết tật và tăng năng suất sản phẩm. Điều này rất quan trọng cho việc sản xuất các vật liệu bán dẫn có độ chính xác cao, có độ tinh khiết cao.

Độ ổn định nhiệt cao, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, độ cứng cơ học và phản ứng hóa học thấp được thể hiện bằng lớp phủ TAC trong quá trình xử lý bán dẫn làm cho nó trở thành một lựa chọn lý tưởng để bảo vệ các thành phần thiết bị sản xuất bán dẫn. Khi nhu cầu của ngành công nghiệp bán dẫn về nhiệt độ cao, độ tinh khiết cao và các quy trình sản xuất hiệu quả tiếp tục tăng, lớp phủ TAC có triển vọng ứng dụng rộng, đặc biệt là trong các thiết bị và quy trình liên quan đến lớp phủ TAC CVD, TAC Đoạn Tac và Aixtron G5.

Công ty TNHH Công nghệ bán dẫn Vetek là nhà cung cấp hàng đầu các vật liệu lớp phủ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn. Công ty chúng tôi tập trung vào việc phát triển các giải pháp tiên tiến cho ngành công nghiệp.

Các dịch vụ sản phẩm chính của chúng tôi bao gồmLớp phủ cacbua cacbua (sic) CVD, Lớp phủ cacbua tantalum (TAC), SIC số lượng lớn, bột sic và vật liệu sic tinh khiết cao, scated sic pasceptor, vòng làm nóng, vòng chuyển phủ TAC, một nửa phần, v.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.

Chất bán dẫn Vetek tập trung vào việc phát triển các giải pháp phát triển sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn.Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.