Tấm hỗ trợ bệ phủ TAC

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất & nhà cung cấp Trung Quốc, chủ yếu sản xuất các bộ cảm nhận lớp phủ CVD TAC, vòng đầu vào, wafer Chunck, giá đỡ phủ TAC, tấm hỗ trợ bệ phủ TAC với nhiều năm kinh nghiệm. Hy vọng sẽ xây dựng mối quan hệ kinh doanh với bạn.

Gốm TAC có điểm nóng chảy lên tới 3880, độ cứng cao (độ cứng của MOHS 9 ~ 10), độ dẫn nhiệt lớn (22W · m^-1· K¹), cường độ uốn lớn (340 ~ 400MPa) và hệ số giãn nở nhiệt nhỏ (6,6 × 10⁶K¹), và cho thấy sự ổn định nhiệt hóa tuyệt vời và tính chất vật lý tuyệt vời. Nó có khả năng tương thích hóa học và cơ học tốt với vật liệu composite than chì và c/c, do đó lớp phủ TAC được sử dụng rộng rãi trong bảo vệ nhiệt hàng không vũ trụ, tăng trưởng tinh thể đơn và các lò phản ứng epiticular như Aixtron, lò phản ứng LPE EPI trong ngành công nghiệp bán dẫn. 

Than than được phủ TAC có khả năng chống ăn mòn hóa học tốt hơn mực bằng đá trần hoặc than chì phủ sic, có thể được sử dụng ổn định ở nhiệt độ cao 2200 °, không phản ứng với nhiều nguyên tố kim loại, là thế hệ thứ ba của chất lượng bán dẫn, có thể cải thiện khả năng tăng trưởng của EP. vệt. Nó đặc biệt phù hợp để phát triển tinh thể đơn GaN hoặc ALN trong thiết bị MOCVD và tinh thể đơn SIC trong thiết bị PVT, và chất lượng của một tinh thể đơn được trồng rõ ràng được cải thiện.