Bạn có biết về MOCVD M cảm không?

Trong quá trình lắng đọng hơi hóa học kim loại (MOCVD), Suceptor là một thành phần chính chịu trách nhiệm hỗ trợ wafer và đảm bảo tính đồng nhất và kiểm soát chính xác quá trình lắng đọng. Lựa chọn vật liệu và đặc điểm sản phẩm của nó ảnh hưởng trực tiếp đến sự ổn định của quy trình epiticular và chất lượng của sản phẩm.

Hỗ trợ MOCVD(Lắng đọng hơi hóa học kim loại) là một thành phần quá trình chính trong sản xuất chất bán dẫn. Nó chủ yếu được sử dụng trong quá trình lắng đọng MOCVD (lắng đọng hơi hóa học kim loại) để hỗ trợ và làm nóng wafer để lắng đọng màng mỏng. Việc thiết kế và lựa chọn vật liệu của Suceptor là rất quan trọng đối với tính đồng nhất, hiệu quả và chất lượng của sản phẩm cuối cùng.

Loại sản phẩm và lựa chọn vật liệu:

Việc thiết kế và lựa chọn vật liệu của MOCVD Masceptor rất đa dạng, thường được xác định bởi các yêu cầu quy trình và điều kiện phản ứng.Sau đây là các loại sản phẩm phổ biến và vật liệu của chúng:

SIC lớp phủ(Silicon cacbua phủ bộ phận):

Mô tả: Mức độ nhạy cảm với lớp phủ SIC, với than chì hoặc các vật liệu nhiệt độ cao khác là chất nền và lớp phủ CVD SIC (lớp phủ CVD SIC) trên bề mặt để cải thiện khả năng chống mài mòn và chống ăn mòn.

ỨNG DỤNG: Được sử dụng rộng rãi trong các quá trình MOCVD trong môi trường khí nhiệt độ cao và độ ăn mòn cao, đặc biệt là trong quá trình lắng đọng silicon và chất bán dẫn hợp chất.

TAC phủ Subers:

Mô tả: Mối quan hệ với lớp phủ TAC (lớp phủ CVD TAC) là vật liệu chính có độ cứng và độ ổn định hóa học cực kỳ cao và phù hợp để sử dụng trong môi trường cực kỳ ăn mòn.

Ứng dụng: Được sử dụng trong các quá trình MOCVD đòi hỏi khả năng chống ăn mòn cao hơn và cường độ cơ học, chẳng hạn như sự lắng đọng của gallium nitride (GAN) và gallium arsenide (GAAS).

Silicon cacbua phủ than chì than chì cho MOCVD:

Mô tả: Chất nền là than chì và bề mặt được phủ một lớp lớp phủ CVD SIC để đảm bảo sự ổn định và tuổi thọ dài ở nhiệt độ cao.

Ứng dụng: Thích hợp để sử dụng trong các thiết bị như lò phản ứng Aixtron MOCVD để sản xuất vật liệu bán dẫn hợp chất chất lượng cao.

Hỗ trợ EPI (Người hỗ trợ Epitaxy):

Mô tả: Bộ nhớ được thiết kế đặc biệt cho quá trình tăng trưởng epiticular, thường là với lớp phủ SIC hoặc lớp phủ TAC để tăng cường độ dẫn nhiệt và độ bền của nó.

ỨNG DỤNG: Trong epitaxy silicon và epitaxy bán dẫn hợp chất, nó được sử dụng để đảm bảo sưởi ấm và lắng đọng đồng đều.

Vai trò chính của sự nhạy cảm đối với MOCVD trong quá trình xử lý chất bán dẫn:

Hỗ trợ wafer và hệ thống sưởi đồng nhất:

Chức năng: Masceptor được sử dụng để hỗ trợ các tấm wafer trong các lò phản ứng MOCVD và cung cấp phân phối nhiệt đồng đều thông qua hệ thống sưởi cảm ứng hoặc các phương pháp khác để đảm bảo lắng đọng màng thống nhất.

Dẫn nhiệt và ổn định:

Chức năng: Độ dẫn nhiệt và độ ổn định nhiệt của vật liệu nhạy cảm là rất quan trọng. SICSED SCATED MENCETTOR và TAC được phủ TAC có thể duy trì sự ổn định trong các quá trình nhiệt độ cao do độ dẫn nhiệt cao và khả năng chống nhiệt độ cao, tránh các khiếm khuyết màng do nhiệt độ không đồng đều.

Kháng ăn mòn và cuộc sống lâu dài:

Chức năng: Trong quá trình MOCVD, bộ nhớ được tiếp xúc với các loại khí tiền chất hóa học khác nhau. Lớp phủ SIC và lớp phủ TAC cung cấp khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, làm giảm sự tương tác giữa bề mặt vật liệu và khí phản ứng, và kéo dài tuổi thọ của bộ nhớ.

Tối ưu hóa môi trường phản ứng:

Chức năng: Bằng cách sử dụng các bộ cảm nhận chất lượng cao, dòng khí và trường nhiệt độ trong lò phản ứng MOCVD được tối ưu hóa, đảm bảo quá trình lắng đọng màng đồng đều và cải thiện năng suất và hiệu suất của thiết bị. Nó thường được sử dụng trong các bộ xử lý cho các lò phản ứng MOCVD và thiết bị Aixtron MOCVD.

Tính năng sản phẩm và lợi thế kỹ thuật：

Độ dẫn nhiệt cao và độ ổn định nhiệt:

Các tính năng: SIC và TAC được phủ các bộ xử lý có độ dẫn nhiệt cực cao, có thể phân phối nhiệt nhanh chóng và đều, và duy trì sự ổn định cấu trúc ở nhiệt độ cao để đảm bảo sưởi ấm đồng đều.

Ưu điểm: Thích hợp cho các quá trình MOCVD yêu cầu kiểm soát nhiệt độ chính xác, chẳng hạn như tăng trưởng epiticular của chất bán dẫn hợp chất như gallium nitride (GAN) và gallium arsenide (GaAs).

Kháng ăn mòn tuyệt vời:

Các tính năng: Lớp phủ CVD SIC và Lớp phủ TAC CVD có độ trơ hóa học cực cao và có thể chống ăn mòn từ các khí ăn mòn cao như clorua và fluoride, bảo vệ chất nền của chất gây tổn thương.

Ưu điểm: Mở rộng tuổi thọ dịch vụ của bộ nhớ, giảm tần suất bảo trì và cải thiện hiệu quả tổng thể của quy trình MOCVD.

Độ bền và độ cứng cơ học cao:

Các tính năng: Độ cứng và cường độ cơ học cao của lớp phủ SIC và TAC cho phép độ nhạy chịu được căng thẳng cơ học trong môi trường nhiệt độ cao và áp suất cao và duy trì sự ổn định và độ chính xác dài hạn.

Ưu điểm: Đặc biệt phù hợp cho các quy trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác cao, chẳng hạn như tăng trưởng epiticular và lắng đọng hơi hóa học.

Triển vọng ứng dụng và phát triển thị trường

MOCVD M cảmđược sử dụng rộng rãi trong việc sản xuất đèn LED độ sáng cao, các thiết bị điện tử công suất (như Hemts dựa trên GAN), pin mặt trời và các thiết bị quang điện tử khác. Với nhu cầu ngày càng tăng đối với hiệu suất cao hơn và các thiết bị bán dẫn tiêu thụ điện năng thấp hơn, công nghệ MOCVD tiếp tục thúc đẩy, thúc đẩy sự đổi mới trong vật liệu và thiết kế nhạy cảm. Ví dụ, phát triển công nghệ lớp phủ SIC với độ tinh khiết cao hơn và mật độ khiếm khuyết thấp hơn, và tối ưu hóa thiết kế cấu trúc của bộ nhạy để thích nghi với các tấm wafer lớn hơn và các quá trình epiticular đa lớp phức tạp hơn.

Công ty TNHH Công nghệ bán dẫn Vetek là nhà cung cấp hàng đầu các vật liệu lớp phủ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn. Công ty chúng tôi tập trung vào việc phát triển các giải pháp tiên tiến cho ngành công nghiệp.

Các dịch vụ sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm lớp phủ CVD silicon cacbua (SIC), lớp phủ cacbua (TAC) Tantalum cacbua, SIC số lượng lớn, bột sic, và vật liệu sic tinh khiết cao, scatit scatit scatit, vòng tw

Chất bán dẫn Vetek tập trung vào việc phát triển các giải pháp phát triển sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.