TAC Lớp phủ phụ tùng

Nó bán dẫnTấm phủ TAClà một vật liệu đặc biệt được sử dụng rộng rãi trongchất bán dẫnquá trình sản xuất. Kết hợp với độ cứng và khả năng chống mài mòn cao, điện trở nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn, hệ số ma sát thấp và độ dẫn nhiệt tốt, tấm phủ TAC đóng vai trò không thể thay thế trong nhiều liên kết xử lý bán dẫn.

Nói chung, các ứng dụng củaTấm phủ TACTrong xử lý chất bán dẫn như sau:

● Chất nền tăng trưởng CVD/ALD: Điện trở nhiệt độ cao, độ ổn định hóa học và hệ số ma sát thấp của các tấm phủ TAC làm cho chúng tạo ra các chất nền tăng trưởng CVD/ALD lý tưởng. Nó có thể cung cấp một môi trường tăng trưởng ổn định để đảm bảo tính đồng nhất và mật độ của bộ phim.

●  Tấm mặt nạ khắc: Độ cứng và khả năng chống ăn mòn cao của các tấm phủ TAC cho phép chúng chịu được các quá trình năng lượng cao như khắc huyết tương, như các tấm mặt nạ khắc, bảo vệ màng bên dưới.

●  Pad đánh bóng CMP: Khả năng chống hao mòn và hệ số ma sát thấp của các tấm phủ TAC làm cho chúng vật liệu lý tưởng cho các miếng đánh bóng CMP, có thể loại bỏ các hạt và khuyết tật một cách hiệu quả trên bề mặt của màng.

●  Ống lò nhiệt độ cao: Điện trở nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn của các tấm phủ TAC cho phép chúng được sử dụng làm ống lò trong lò nhiệt độ cao để ủ, khuếch tán và các quá trình khác.

CVD TAC Lớp phủ Thông số kỹ thuật：

Vetek S bán dẫn TAC Lớp phủ phụ tùng Cửa hàng sản phẩm：