Vòng than chì tráng tantalum cacbua (TaC) xốp

Tính năng sản phẩm

• Thiết bị cốt lõi:Dành cho các lò tăng trưởng đơn tinh thể SiC hoạt động với công nghệ PVT.
• Ứng dụng chính:Thích hợp cho các hệ thống trường nhiệt trong quá trình phát triển tinh thể SiC bán dẫn thế hệ thứ ba.
• Độ ổn định nhiệt độ cao:Lớp phủ TaC duy trì tính toàn vẹn của cấu trúc dưới nhiệt độ cực cao, hỗ trợ hoạt động kéo dài trong môi trường nhiệt đòi hỏi khắt khe.
• Bảo vệ chống ăn mòn:Lớp CVD TaC dày đặc bảo vệ chất nền than chì khỏi hơi silicon, khí chứa cacbon và các chất ăn mòn khác gặp phải trong quá trình phát triển SiC.
• Hiệu suất trường nhiệt:Đế than chì xốp hỗ trợ phân phối nhiệt và vận chuyển hơi, giúp duy trì điều kiện tăng trưởng ổn định.
• Ô nhiễm thấp:Nguyên liệu ban đầu có độ tinh khiết cao và lớp phủ dày đặc hạn chế sự giải phóng tạp chất và sự bong tróc hạt, mang lại lợi ích cho chất lượng tinh thể.
• Tuổi thọ kéo dài:Lớp TaC cải thiện khả năng chống oxy hóa, độ cứng bề mặt và độ bền tổng thể ở nhiệt độ cao.
• Độ bám dính của lớp phủ:Quá trình CVD tạo ra liên kết bền chặt giữa màng TaC và chất nền than chì.
• Tùy chọn tùy chỉnh:Kích thước, chi tiết cấu trúc và thông số kỹ thuật lớp phủ có thể được điều chỉnh để phù hợp với các yêu cầu khác nhau của lò tăng trưởng SiC.

Thông số kỹ thuật

Ứng dụng

Vòng than chì phủ TaC xốp VETEK chủ yếu được sử dụng trong:

• Tăng trưởng tinh thể đơn SiC thông qua PVT
• Sản xuất chất bán dẫn thế hệ thứ ba
• Sản xuất chất nền SiC
• Hệ thống trường nhiệt trong lò tăng trưởng tinh thể
• Xử lý chất bán dẫn nhiệt độ cao
• Các thành phần vùng nóng than chì tiên tiến

Câu hỏi thường gặp

1. Vòng than chì phủ TaC xốp là gì?

Nó là thành phần trường nhiệt cho lò tăng trưởng tinh thể SiC. Nó kết hợp cấu trúc than chì xốp với lớp phủ CVD TaC để mang lại khả năng quản lý nhiệt và bảo vệ chống ăn mòn ở nhiệt độ cao.

2. Tại sao nên sử dụng lớp phủ TaC để phát triển tinh thể SiC?

TaC mang lại sự ổn định ở nhiệt độ cao và khả năng kháng hóa chất. Nó bảo vệ than chì khỏi sự tấn công của hơi silicon và giúp duy trì môi trường phát triển ổn định, sạch sẽ.

3. Cấu trúc than chì xốp có tác dụng gì?

Thiết kế xốp hỗ trợ phân phối nhiệt và vận chuyển khí trong lò, góp phần tạo điều kiện phát triển tinh thể SiC ổn định.

4. VETEK có thể sản xuất các vòng than chì phủ TaC tùy chỉnh không?

Đúng. VETEK cung cấp khả năng tùy chỉnh dựa trên bản vẽ của khách hàng, thiết kế lò và nhu cầu quy trình, bao gồm kích thước, cấu hình nền và thông số lớp phủ.