Các sản phẩm

Lớp phủ cacbua tantali

Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để tăng trưởng tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.


Các sản phẩm chính làVòng dẫn hướng tráng TaC, Vòng dẫn hướng ba cánh được phủ CVD TaC, Tantalum cacbua TaC phủ Halfmoon, Lớp phủ CVD TaC chất nhạy cảm epiticular SiC hành tinh, Vòng phủ cacbua Tantalum, Tantalum cacbua phủ than chì xốp, Chất nhạy cảm xoay lớp phủ TaC, Vòng cacbua tantali, Tấm xoay lớp phủ TaC, Chất nhạy cảm wafer được phủ TaC, Vòng làm lệch hướng phủ TaC, Vỏ phủ CVD TaC, Chuck phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.


Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:


Excellent properties of TaC coating graphite


Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.


Các tính năng chính:

 ●Ổn định nhiệt độ

 ●Độ tinh khiết cực cao

 ●Kháng H2, NH3, SiH4,Si

 ●Khả năng chịu nhiệt

 ●Độ bám dính mạnh với than chì

 ●Lớp phủ phủ phù hợp

 Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)


Ứng dụng:

 ●Chất mang wafer

 ● Cảm biến nhiệt cảm ứng

 ● Bộ phận làm nóng bằng điện trở

 ●Đĩa vệ tinh

 ●đầu vòi hoa sen

 ●Vòng dẫn hướng

 ●Bộ thu LED Epi

 ●Vòi phun

 ●Vòng che

 ● Tấm chắn nhiệt


Lớp phủ tantalum cacbua (TaC) trên mặt cắt cực nhỏ:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Thông số của lớp phủ cacbua tantalum bán dẫn VeTek:

Tính chất vật lý của lớp phủ TaC
Tỉ trọng 14,3 (g/cm³)
Độ phát xạ cụ thể 0.3
Hệ số giãn nở nhiệt 6,3 10-6/K
Độ cứng (HK) 2000 HK
Sức chống cự 1×10-5Ohm*cm
Độ ổn định nhiệt <2500oC
Thay đổi kích thước than chì -10~-20um
độ dày lớp phủ ≥20um giá trị điển hình (35um±10um)


Dữ liệu EDX lớp phủ TaC

EDX data of TaC coating


Dữ liệu cấu trúc tinh thể lớp phủ TaC:

Yếu tố Phần trăm nguyên tử
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Trung bình
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Họ 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Vòng phủ cacbua tantalum

Vòng phủ cacbua tantalum

Là một nhà đổi mới chuyên nghiệp và lãnh đạo của các sản phẩm vòng tráng Tantalum cacbua ở Trung Quốc, vòng bán dẫn Vetek Tantalum Carbide đóng vai trò không thể thay thế trong sự tăng trưởng của tinh thể SIC với khả năng chống nhiệt độ cao tuyệt vời, khả năng chống mài mòn và độ dẫn nhiệt tuyệt vời. Chào mừng bạn tham vấn thêm.
Cacbua tantalum xốp

Cacbua tantalum xốp

Vetek S bán dẫn là một nhà sản xuất chuyên nghiệp và lãnh đạo các sản phẩm cacbua tantalum xốp tại Trung Quốc. Cacbua tantalum xốp thường được sản xuất bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD), đảm bảo kiểm soát chính xác kích thước và phân phối lỗ rỗng của nó, và là một công cụ vật liệu dành riêng cho môi trường khắc nghiệt ở nhiệt độ cao. Chào mừng bạn tham vấn thêm.
Vòng dẫn hướng lớp phủ TaC

Vòng dẫn hướng lớp phủ TaC

Vòng dẫn hướng lớp phủ TaC của VeTek Semiconductor được tạo ra bằng cách phủ lớp phủ tantalum cacbua lên các bộ phận bằng than chì bằng kỹ thuật tiên tiến được gọi là lắng đọng hơi hóa học (CVD). Phương pháp này được thiết lập tốt và cung cấp các đặc tính phủ đặc biệt. Bằng cách sử dụng Vòng dẫn hướng lớp phủ TaC, tuổi thọ của các thành phần than chì có thể được kéo dài đáng kể, sự chuyển động của tạp chất than chì có thể bị ngăn chặn và chất lượng đơn tinh thể SiC và AIN có thể được duy trì một cách đáng tin cậy. Chào mừng bạn đến hỏi chúng tôi.
Vòng cacbua tantalum

Vòng cacbua tantalum

Là nhà sản xuất và sản xuất các sản phẩm vòng cacbua tantalum ở Trung Quốc, vòng bán dẫn vetek Tantalum Carbide có độ cứng cực cao, khả năng chống mài mòn, khả năng chống nhiệt độ cao và độ ổn định hóa học, và được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Đặc biệt là trong CVD, PVD, quy trình cấy ghép ion, quy trình khắc và xử lý và vận chuyển wafer, đây là một sản phẩm không thể thiếu để xử lý và sản xuất chất bán dẫn. Mong được tư vấn thêm của bạn.
Hỗ trợ lớp phủ Tantalum cacbua

Hỗ trợ lớp phủ Tantalum cacbua

Là nhà sản xuất và nhà máy sản xuất sản phẩm Hỗ trợ lớp phủ cacbua Tantalum chuyên nghiệp tại Trung Quốc, Chất hỗ trợ lớp phủ Tantalum cacbua bán dẫn VeTek thường được sử dụng để phủ bề mặt các bộ phận cấu trúc hoặc các bộ phận hỗ trợ trong thiết bị bán dẫn, đặc biệt là để bảo vệ bề mặt của các thành phần thiết bị chính trong quy trình sản xuất chất bán dẫn như CVD và PVD. Chào mừng bạn tư vấn thêm.
Vòng hướng dẫn cacbua tantalum

Vòng hướng dẫn cacbua tantalum

Vetek S bán dẫn là một nhà sản xuất chuyên nghiệp và lãnh đạo các sản phẩm nhẫn hướng dẫn carbide tantalum ở Trung Quốc. Vòng dẫn hướng dẫn cacbua tantalum (TAC) của chúng tôi là một thành phần vòng hiệu suất cao được làm từ cacbua tantalum, thường được sử dụng trong các thiết bị xử lý bán dẫn, đặc biệt là trong môi trường nhiệt độ cao và độ ăn mòn cao như CVD, PVD, khắc và khuếch tán. Bán dẫn Vetek cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn, và hoan nghênh các yêu cầu tiếp theo của bạn.
Là một nhà sản xuất và nhà cung cấp chuyên nghiệp Lớp phủ cacbua tantali tại Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng của chúng tôi. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng các nhu cầu cụ thể của khu vực của bạn hoặc muốn mua nâng cao và bền Lớp phủ cacbua tantali được thực hiện tại Trung Quốc, bạn có thể để lại cho chúng tôi một tin nhắn.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept