Lớp phủ cacbua tantali

Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để tăng trưởng tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.

Các sản phẩm chính làVòng dẫn hướng tráng TaC, Vòng dẫn hướng ba cánh được phủ CVD TaC, Tantalum cacbua TaC phủ Halfmoon, Lớp phủ CVD TaC chất nhạy cảm epiticular SiC hành tinh, Vòng phủ cacbua Tantalum, Tantalum cacbua phủ than chì xốp, Chất nhạy cảm xoay lớp phủ TaC, Vòng cacbua tantali, Tấm xoay lớp phủ TaC, Chất nhạy cảm wafer được phủ TaC, Vòng làm lệch hướng phủ TaC, Vỏ phủ CVD TaC, Chuck phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.

Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây: