Vòng hướng dẫn cacbua tantalum

Nó bán dẫnHướng dẫn cacbua tantalum ringđược chế tạo từthan chìVàphủ cacbua tantalum, Một sự kết hợp tận dụng các thuộc tính tốt nhất của cả hai vật liệu để đảm bảo hiệu suất vượt trội và tuổi thọ.

CácLớp phủ TACTrên vòng hướng dẫn cacbua tantalum đảm bảo rằng nó vẫn trơ về mặt hóa học trong khí quyển phản ứng của các lò tăng trưởng tinh thể SIC, thường liên quan đến các loại khí như hydro, argon và nitơ. Sự trơ hóa hóa học này là rất quan trọng để ngăn ngừa bất kỳ sự ô nhiễm của tinh thể đang phát triển, có thể dẫn đến khiếm khuyết và giảm hiệu suất của các sản phẩm bán dẫn cuối cùng. Ngoài ra, độ ổn định nhiệt do lớp phủ TAC cung cấp cho phép vòng hướng dẫn lớp phủ cacbua tantalum hoạt động hiệu quả ở nhiệt độ cao cần thiết choTăng trưởng tinh thể sic, thường vượt quá 2000 ° C.

Ngoài ra, sự kết hợp của than chì và TAC trong vòng phủ cacbua tantalum tối ưu hóa quản lý nhiệt trong lò tăng trưởng tinh thể. Độ dẫn nhiệt cao của than chì phân phối nhiệt hiệu quả, ngăn chặn các điểm nóng và thúc đẩy sự phát triển tinh thể đồng đều. Trong khi đó, lớp phủ cacbua tantalum đóng vai trò là hàng rào nhiệt, bảo vệ lõi than chì khỏi tiếp xúc trực tiếp với nhiệt độ cao và khí phản ứng. Sự tổng hợp này giữa các vật liệu lõi và lớp phủ dẫn đến một vòng hướng dẫn không chỉ chịu được các điều kiện khắc nghiệt của sự phát triển tinh thể SIC mà còn tăng cường hiệu quả và chất lượng tổng thể của quá trình.

Các tính chất cơ học của cacbua bán dẫn vetek làm giảm đáng kể hao mòn trên vòng phủ cacbua tantalum. Điều này rất quan trọng do tính chất lặp đi lặp lại củaQuá trình tăng trưởng tinh thể, cho thấy vòng dẫn hướng đến các chu kỳ nhiệt thường xuyên và ứng suất cơ học. Độ cứng và khả năng chống mài mòn của cacbua Tantalum đảm bảo rằng vòng dẫn hướng duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và kích thước chính xác trong thời gian dài, giảm thiểu nhu cầu thay thế thường xuyên và giảm thời gian chết trong quy trình sản xuất.

Vòng dẫn hướng dẫn lớp phủ cacbua tantalum vetalum là một thành phần thiết yếu trong ngành công nghiệp bán dẫn, được thiết kế đặc biệt cho sự phát triển củaTinh thể cacbua silicon. Thiết kế của nó khai thác các điểm mạnh của than chì và cacbua tantalum để mang lại hiệu suất đặc biệt trong môi trường căng thẳng cao, nhiệt độ cao. Lớp phủ TAC đảm bảo tính trơ hóa học, độ bền cơ học và độ ổn định nhiệt, tất cả đều rất quan trọng để tạo ra các tinh thể SIC chất lượng cao. Bằng cách duy trì tính toàn vẹn và chức năng của nó trong điều kiện khắc nghiệt, Vòng hướng dẫn hỗ trợ sự tăng trưởng hiệu quả và không khuyết tật của các tinh thể SIC, góp phần vào sự tiến bộ của các thiết bị bán dẫn tần số cao và năng lượng cao.

Lớp phủ cacbua tantalum (TAC) trên mặt cắt bằng kính hiển vi:

Tính chất vật lý của lớp phủ TAC: