Hỗ trợ lớp phủ cacbua tantalum

Chức năng chính của chất bán dẫn vetekLớp phủ cacbua tantalum (TAC)Hỗ trợ là để cải thiệnKhả năng chịu nhiệt, khả năng chống mài mòn và khả năng chống ăn mòncủa chất nền bằng cách phủ một lớp lớp phủ cacbua tantalum, để cải thiện độ chính xác và độ tin cậy của quá trình và mở rộng tuổi thọ dịch vụ của các thành phần. Nó là một sản phẩm lớp phủ hiệu suất cao được sử dụng trong lĩnh vực xử lý chất bán dẫn.

Sự hỗ trợ của lớp phủ cacbua tantalum của Vetek SemicDuctor có độ cứng Mohs gần 9 ~ 10, chỉ đứng sau kim cương. Nó có khả năng chống hao mòn cực kỳ mạnh và có thể chống lại sự hao mòn và tác động của bề mặt trong quá trình xử lý, do đó kéo dài hiệu quả tuổi thọ của các thành phần thiết bị. Kết hợp với điểm nóng chảy cao khoảng 3880 ° C, nó thường được sử dụng để phủ các thành phần chính của thiết bị bán dẫn, như lớp phủ bề mặt của các cấu trúc hỗ trợ, thiết bị xử lý nhiệt, buồng hoặc miếng đệm trong thiết bị bán dẫn để tăng cường khả năng chống mài mòn và điện trở nhiệt độ cao.

Do điểm nóng chảy cực cao của cacbua tantalum khoảng 3880 ° C, trong các quá trình xử lý bán dẫn nhưlắng đọng hơi hóa học (CVD)Vàlắng đọng hơi vật lý (PVD), Lớp phủ TAC với điện trở nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn hóa học có thể bảo vệ hiệu quả các thành phần thiết bị và ngăn ngừa ăn mòn hoặc làm hỏng chất nền trong môi trường khắc nghiệt, cung cấp bảo vệ hiệu quả cho môi trường nhiệt độ cao trong sản xuất wafer. Tính năng này cũng xác định rằng hỗ trợ lớp phủ cacbua tantalum của chất bán dẫn Vetek thường được sử dụng trong các quá trình khắc và ăn mòn.

Hỗ trợ lớp phủ cacbua tantalum cũng có chức năng giảm ô nhiễm hạt. Trong quá trình xử lý wafer, hao mòn bề mặt thường tạo ra ô nhiễm hạt, ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm của wafer. Các đặc điểm sản phẩm cực đoan của TAC của TAC gần 9-10 MOHS có thể làm giảm hiệu quả sự hao mòn này, do đó làm giảm việc tạo ra các hạt. Kết hợp với độ dẫn nhiệt tuyệt vời của lớp phủ TAC (khoảng 21 W/m · K), nó có thể duy trì độ dẫn nhiệt tốt trong điều kiện nhiệt độ cao, do đó cải thiện đáng kể năng suất và tính nhất quán của sản xuất wafer.

Các sản phẩm lớp phủ TAC chính của Bán dẫn Vetek bao gồmMáy sưởi lớp phủ TAC, CVD TAC Lớp phủ lò xo, Tac Lớp phủ Xoay M cảmVàTAC Lớp phủ phụ tùng, v.v., và hỗ trợ các dịch vụ sản phẩm tùy chỉnh. Bán dẫn Vetek cam kết cung cấp các sản phẩm và giải pháp kỹ thuật tuyệt vời cho ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Lớp phủ cacbua tantalum (TAC) trên mặt cắt bằng kính hiển vi:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD TAC：