Vòng than chì phủ CVD TaC

Thông tin chung về sản phẩm

Điều kiện kinh doanh sản phẩm

Ứng dụng: Vòng phủ Veteksemiaon CVD TaC được phát triển đặc biệt choQuá trình tăng trưởng tinh thể SiC. Là thành phần chịu tải quan trọng trong buồng phản ứng nhiệt độ cao, lớp phủ TaC độc đáo của nó cách ly hiệu quả sự ăn mòn hơi silicon, ngăn ngừa ô nhiễm tạp chất và đảm bảo độ ổn định cấu trúc trong môi trường nhiệt độ cao lâu dài, mang đến sự đảm bảo đáng tin cậy để thu được tinh thể chất lượng cao.

Dịch vụ có thể được cung cấp: phân tích kịch bản ứng dụng của khách hàng, vật liệu phù hợp, giải quyết vấn đề kỹ thuật.

Hồ sơ công tye：Veteksemicon có 2 phòng thí nghiệm, đội ngũ chuyên gia có 20 năm kinh nghiệm về vật liệu, có năng lực R&D và sản xuất, thử nghiệm và xác minh.

Vòng phủ Veteksemicon CVD TaC là vật liệu cốt lõi được thiết kế để lắng đọng hơi hóa học ở nhiệt độ cao và tăng trưởng tinh thể của vật liệu bán dẫn tiên tiến, đặc biệt là cacbua silic. Chúng tôi sử dụng công nghệ lắng đọng hơi hóa học tối ưu, độc đáo để lắng đọng một lớp dày đặc, đồng nhấtlớp phủ cacbua tantalumtrên nền than chì có độ tinh khiết cao. Với khả năng chịu nhiệt độ cao đặc biệt, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và tuổi thọ cực kỳ dài, sản phẩm này bảo vệ hiệu quả chất lượng tinh thể và giảm đáng kể chi phí sản xuất tổng thể của bạn, khiến nó trở thành lựa chọn thiết yếu cho các quy trình đòi hỏi độ ổn định của quy trình và năng suất cao nhất.

Thông số kỹ thuật:

Ưu điểm cốt lõi của Veteksemian CVD TaC Coated Ring

Độ tinh khiết và ổn định vô song

Trong môi trường khắc nghiệt của sự phát triển tinh thể SiC, nơi nhiệt độ vượt quá 2000°C, ngay cả những tạp chất nhỏ cũng có thể phá hủy các tính chất điện của toàn bộ tinh thể. Của chúng tôiLớp phủ CVD TaC, với độ tinh khiết đặc biệt, về cơ bản loại bỏ ô nhiễm khỏi vòng. Hơn nữa, độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời của nó đảm bảo rằng lớp phủ sẽ không bị phân hủy, bay hơi hoặc phản ứng với khí xử lý trong chu kỳ nhiệt và nhiệt độ cao kéo dài, cung cấp môi trường pha hơi tinh khiết và ổn định cho sự phát triển của tinh thể.

Ăn mòn tuyệt vời vàchống xói mòn

Ăn mòn than chì bởi hơi silicon là nguyên nhân chính gây ra hư hỏng và ô nhiễm hạt trong các vòng than chì truyền thống. Lớp phủ TaC của chúng tôi, với khả năng phản ứng hóa học cực thấp với silicon, ngăn chặn hơi silicon một cách hiệu quả, bảo vệ chất nền than chì bên dưới khỏi bị xói mòn. Điều này không chỉ kéo dài đáng kể tuổi thọ của vòng mà quan trọng hơn là giảm đáng kể các hạt vật chất được tạo ra do ăn mòn và nứt vỡ bề mặt, trực tiếp cải thiện năng suất phát triển tinh thể và chất lượng bên trong.

Hiệu suất cơ học tuyệt vời và tuổi thọ sử dụng

Lớp phủ TaC được hình thành bởi quy trình CVD có mật độ và độ cứng Vickers cực cao, khiến nó có khả năng chống mài mòn và tác động vật lý cực kỳ cao. Trong các ứng dụng thực tế, sản phẩm của chúng tôi có thể kéo dài tuổi thọ sử dụng từ 3 đến 8 lần so với vòng than chì truyền thống hoặc vòng phủ carbon/silicon cacbua nhiệt phân. Điều này có nghĩa là thời gian ngừng hoạt động để thay thế ít hơn và sử dụng thiết bị cao hơn, giảm đáng kể tổng chi phí sản xuất tinh thể đơn.

Chất lượng lớp phủ tuyệt vời

Hiệu suất của lớp phủ phụ thuộc nhiều vào tính đồng nhất và độ bền liên kết của nó. Quy trình CVD được tối ưu hóa của chúng tôi cho phép chúng tôi đạt được độ dày lớp phủ đồng đều cao trên cả những hình dạng vòng phức tạp nhất. Quan trọng hơn, lớp phủ tạo thành một liên kết luyện kim mạnh mẽ với chất nền than chì có độ tinh khiết cao, ngăn ngừa bong tróc, nứt hoặc bong tróc một cách hiệu quả do sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt trong chu kỳ gia nhiệt và làm mát nhanh, đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy liên tục trong suốt vòng đời của sản phẩm.

Chứng thực xác minh chuỗi sinh thái

Quá trình xác minh chuỗi sinh thái của Veteksemicon CVD TaC Coated Ring bao gồm nguyên liệu thô cho đến sản xuất, đã đạt chứng nhận tiêu chuẩn quốc tế và có một số công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo độ tin cậy và tính bền vững trong lĩnh vực bán dẫn và năng lượng mới.

Để biết thông số kỹ thuật chi tiết, sách trắng hoặc sắp xếp thử nghiệm mẫu, vui lòngliên hệ với Nhóm hỗ trợ kỹ thuật của chúng tôiđể khám phá cách Veteksemian có thể nâng cao hiệu quả quy trình của bạn.