Vòng hướng dẫn than chì được phủ TAC

Vòng hướng dẫn than chì TAC (Tantalum cacbua) là một thành phần quan trọng được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt trong các quy trình như lắng đọng epiticular và khắc huyết tương. Những vòng này được thiết kế để giữ an toàn và định vị các tấm silicon, đảm bảo sự liên kết chính xác và độ ổn định trong môi trường hóa học nhiệt độ cao và khắc nghiệt. Nhẫn hướng dẫn của chúng tôi được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của chế tạo chất bán dẫn hiện đại, giúp cải thiện năng suất quy trình và chất lượng wafer.

Thành phần vật chất và tính chất vật lý

Lõi của vòng hướng dẫn than chì được phủ TAC của chúng tôi là một vòng than chì tinh khiết cao, sau đó được phủ một lớp cacbua tantalum (TAC).

Chất nền than chì:

Trèn than chì cung cấp một số lợi thế chính. Nó có độ ổn định nhiệt tuyệt vời, chống biến dạng ở nhiệt độ cao phổ biến trong xử lý chất bán dẫn. Bản chất nhẹ của nó giảm thiểu khối lượng nhiệt, cho phép các chu kỳ làm nóng và làm mát nhanh chóng. Than than độ tinh khiết cao cũng ngăn ngừa ô nhiễm của buồng quá trình.

CVD TAC Lớp phủ:

Lớp phủ cacbua tantalum là chìa khóa cho hiệu suất vượt trội của vòng. TAC là một vật liệu gốm cực kỳ cứng, cung cấp khả năng chống mài mòn đặc biệt và trơ hóa học. Nó bảo vệ than chì cơ bản khỏi huyết tương hung hăng và khí ăn mòn, kéo dài đáng kể tuổi thọ của vòng. Lớp phủ này cũng ngăn các hạt rụng, điều này rất quan trọng để duy trì môi trường quá trình sạch và ngăn ngừa các khiếm khuyết trên bề mặt wafer.

Vai trò của các vòng hướng dẫn trong xử lý wafer

Vòng hướng dẫn phủ TAC của chúng tôi đóng một vai trò quan trọng trong việc đảm bảo chất lượng và hiệu quả của chế tạo chất bán dẫn.

● Căn chỉnh và ổn định wafer: Trong quá trình tăng trưởng epiticular hoặc khắc, vòng hướng dẫn giữ wafer ở vị trí chính xác. Điều này ngăn chặn wafer không thay đổi, điều này rất cần thiết cho sự lắng đọng lớp đồng đều và chuyển mẫu chính xác trên toàn bộ bề mặt wafer.

● Quản lý nhiệt: Các tính chất nhiệt của lớp phủ cacbua than chì và tantalum cho phép phân phối và quản lý nhiệt hiệu quả. Điều này là rất quan trọng để duy trì cấu hình nhiệt độ đồng đều trên wafer, điều này là cần thiết cho độ dày màng nhất quán và tính chất vật liệu.

● Kiểm soát ô nhiễm: Các vật liệu có độ tinh khiết cao và lớp phủ TAC bền bỉ giảm thiểu việc tạo ra và vượt trội. Điều này làm giảm nguy cơ ô nhiễm wafer và khiếm khuyết, dẫn đến năng suất và độ tin cậy của thiết bị cao hơn.

● Tuổi thọ thành phần mở rộng: Lớp phủ cacbua tantalum mạnh mẽ cung cấp khả năng chống xói mòn và tấn công hóa học trong huyết tương. Điều này mở rộng tuổi thọ hoạt động của vòng hướng dẫn, giảm thời gian chết bảo trì và giảm tổng chi phí sở hữu.