Tin tức trong ngành

Trong số các công nghệ hiện có, lò tăng trưởng tinh thể SiC gia nhiệt điện trở cỡ lớn đã nổi lên như một giải pháp quan trọng để sản xuất tinh thể SiC có đường kính lớn, độ khuyết tật thấp với tính nhất quán và hiệu quả được cải thiện. Bài viết này tìm hiểu cách thức hoạt động của công nghệ này, những ưu điểm, ứng dụng của nó và lý do tại sao các nhà lãnh đạo trong ngành tin tưởng vào các giải pháp đổi mới của Veteksemi.

Chất nhạy cảm than chì được phủ SiC cho ASM không chỉ là một bộ phận thay thế bên trong hệ thống epit Wax. Nó là chất mang quan trọng trong quy trình, ảnh hưởng đến độ đồng đều nhiệt, độ sạch của tấm bán dẫn, độ bền lớp phủ, độ ổn định của buồng và chi phí sản xuất lâu dài.

Lớp phủ CVD TaC không chỉ là nắp bảo vệ hoặc thành phần than chì được phủ. Trong các quy trình bán dẫn ở nhiệt độ cao, nó có thể ảnh hưởng đến độ sạch của buồng, độ ổn định nhiệt, tuổi thọ bộ phận và tính nhất quán của quy trình.