Tin tức

Bài báo phân tích tính chất vật liệu của các tấm nền bán dẫn như silicon, GaAs, SiC và GaN

Bài viết này chủ yếu mô tả công nghệ epitaxial nhiệt độ thấp dựa trên GAN, bao gồm cấu trúc tinh thể của các vật liệu dựa trên GAN, 3. Các yêu cầu và giải pháp công nghệ epiticular, lợi thế của công nghệ epiticular nhiệt độ thấp dựa trên các nguyên tắc PVD và triển vọng phát triển của công nghệ epiti nhiệt độ thấp.

Bài viết này lần đầu tiên giới thiệu cấu trúc phân tử và tính chất vật lý của TAC, và tập trung vào sự khác biệt và ứng dụng của cacbua cacbua tantalum và CVD tantalum, cũng như các sản phẩm phủ TAC phổ biến của chất bán dẫn.

Bài viết này giới thiệu các đặc tính sản phẩm của lớp phủ CVD TAC, quá trình chuẩn bị lớp phủ CVD TAC bằng phương pháp CVD và phương pháp cơ bản để phát hiện hình thái bề mặt của lớp phủ CVD TAC đã chuẩn bị.