Tin tức

Trong việc chuẩn bị các chất nền cacbua silicon chất lượng cao và năng suất cao, cốt lõi đòi hỏi phải kiểm soát chính xác nhiệt độ sản xuất bằng vật liệu trường nhiệt tốt. Hiện tại, bộ dụng cụ luyện kim của trường nhiệt chủ yếu được sử dụng là các thành phần cấu trúc than chì có độ tinh khiết cao, có chức năng làm nóng bột carbon nóng chảy và bột silicon cũng như để duy trì nhiệt.

Khi bạn nhìn thấy các chất bán dẫn thế hệ thứ ba, bạn chắc chắn sẽ tự hỏi thế hệ thứ nhất và thứ hai là gì. "Thế hệ" ở đây được phân loại dựa trên các vật liệu được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn.

Chuck tĩnh điện (ESC), còn được gọi là Chuck tĩnh điện (ESC, E-Chuck), là một vật cố định sử dụng nguyên tắc hấp phụ tĩnh điện để giữ và sửa chữa vật liệu hấp phụ. Nó phù hợp cho môi trường chân không và plasma.