Tin tức

Vật liệu nano cacbua silicon (SIC) là các vật liệu có ít nhất một chiều ở thang đo nanomet (1-100nm). Những vật liệu này có thể là 0, một, hai hoặc ba chiều và có các ứng dụng đa dạng.

CVD SIC là một vật liệu cacbua silicon có độ tinh khiết cao được sản xuất bởi sự lắng đọng hơi hóa học. Nó chủ yếu được sử dụng cho các thành phần và lớp phủ khác nhau trong thiết bị xử lý bán dẫn. Nội dung sau đây là giới thiệu về phân loại sản phẩm và các chức năng cốt lõi của CVD SIC

Bài viết này chủ yếu giới thiệu các loại sản phẩm, đặc tính sản phẩm và các chức năng chính của lớp phủ TAC trong chế biến chất bán dẫn, và tạo ra một phân tích toàn diện và giải thích toàn bộ các sản phẩm phủ TAC.

Bài viết này chủ yếu giới thiệu các loại sản phẩm, đặc điểm sản phẩm và các chức năng chính của MOCVD M cảm trong xử lý chất bán dẫn và thực hiện toàn bộ phân tích và giải thích các sản phẩm MOCVD.

Chất nhạy cảm than chì được phủ SiC cho ASM không chỉ là một bộ phận thay thế bên trong hệ thống epit Wax. Nó là chất mang quan trọng trong quy trình, ảnh hưởng đến độ đồng đều nhiệt, độ sạch của tấm bán dẫn, độ bền lớp phủ, độ ổn định của buồng và chi phí sản xuất lâu dài.

Lớp phủ CVD TaC không chỉ là nắp bảo vệ hoặc thành phần than chì được phủ. Trong các quy trình bán dẫn ở nhiệt độ cao, nó có thể ảnh hưởng đến độ sạch của buồng, độ ổn định nhiệt, tuổi thọ bộ phận và tính nhất quán của quy trình.