Tin tức

Chất nhạy cảm than chì được phủ SiC cho ASM không chỉ là một bộ phận thay thế bên trong hệ thống epit Wax. Nó là chất mang quan trọng trong quy trình, ảnh hưởng đến độ đồng đều nhiệt, độ sạch của tấm bán dẫn, độ bền lớp phủ, độ ổn định của buồng và chi phí sản xuất lâu dài.

Lớp phủ CVD TaC không chỉ là nắp bảo vệ hoặc thành phần than chì được phủ. Trong các quy trình bán dẫn ở nhiệt độ cao, nó có thể ảnh hưởng đến độ sạch của buồng, độ ổn định nhiệt, tuổi thọ bộ phận và tính nhất quán của quy trình.

Trong quá trình sản xuất PECVD, nhiều vấn đề về lớp phủ và lắng đọng không bắt đầu từ năng lượng plasma hoặc hóa chất khí. Họ bắt đầu với vật mang giữ các tấm bán dẫn.