Chất mang wafer cho VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Tính năng sản phẩm:

1. Đế than chì có độ tinh khiết cao với lớp SiC CVD dày đặc
2. Độ đồng đều nhiệt tốt cho quá trình epitaxy LED ổn định
3. Chịu được NH₃, HCl và các loại khí ăn mòn khác được sử dụng trong quy trình
4. Độ rụng hạt thấp và tuổi thọ dài
5. Thiết kế bỏ túi có thể được tùy chỉnh cho các kích cỡ wafer và nền tảng lò phản ứng khác nhau
6. Hoạt động tốt cho hoạt động MOCVD nhiệt độ cao, lâu dài

Ứng dụng:
Các chất mang wafer này được sử dụng rộng rãi trong LED và epitaxy bán dẫn hỗn hợp, bao gồm:

• Epitaxy LED GaN
• Epitaxy LED xanh lam
• Tăng trưởng LED UV sâu
• Epitaxy GaN dựa trên Si
• Sản xuất chất bán dẫn phức hợp nói chung

Các giải pháp nhà cung cấp dịch vụ tùy chỉnh phù hợp với nhiều nền tảng LED MOCVD, chẳng hạn như:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Ưu điểm kỹ thuật:

1. Lớp phủ CVD SiCcông nghệ mang lại cho bạn mật độ và độ tinh khiết tốt
2. Sự thay đổi độ dày lớp phủ được giữ trong phạm vi ±10 μm – giúp hiệu suất nhiệt ổn định
3. Gia công CNC có độ chính xác lên tới 3 μm để có độ vừa khít tốt với tấm wafer và độ ổn định khi xoay
4. Lớp phủ bám dính tốt và chống nứt sau các chu kỳ MOCVD nhiệt độ cao lặp đi lặp lại
5. Xử lý NH₃, HCl và các môi trường epitaxy khắc nghiệt khác mà không gặp sự cố
6. Ít tạo hạt và bề mặt sạch để hỗ trợ năng suất caoepitaxy LED
7. Có thể phủ các kích thước lớn hoặc tùy chỉnh cho các nền tảng lò phản ứng và bố trí wafer khác nhau
8. Kinh nghiệm lâu năm vớicác bộ phận được phủ than chì và SiC tùy chỉnhcho epitaxy bán dẫn LED và hợp chất

Câu hỏi thường gặp:
1. Người vận chuyển wafer làm gì trongMOCVDEpitaxy LED?

Trả lời: Nó giữ và quay các tấm bán dẫn bên trong lò phản ứng MOCVD, đồng thời giúp giữ nhiệt độ ổn định trong quá trình tăng trưởng epiticular.

2. Tại sao nên sử dụng chất mang wafer than chì phủ SiC cho MOCVD?

Đáp: CáiLớp phủ CVD SiCmang lại khả năng chống ăn mòn tốt hơn, ổn định nhiệt và độ bền. Nó cũng giúp giảm thiểu ô nhiễm hạt trong quá trình epitaxy ở nhiệt độ cao.

3. Vetek Semiconductor có sản xuất các vật chứa wafer tùy chỉnh không?
Đ: Vâng. Chúng tôi có thể thiết kế các vật mang tùy chỉnh dựa trên nền tảng lò phản ứng, kích thước wafer, cách bố trí túi và các nhu cầu quy trình khác của bạn.