Chuck tĩnh điện (ESC) là gì?

Chuck tĩnh điện (ESC), còn được gọi là Chuck tĩnh điện (ESC, E-Chuck), là một vật cố định sử dụng nguyên tắc hấp phụ tĩnh điện để giữ và sửa chữa vật liệu hấp phụ. Nó phù hợp cho môi trường chân không và plasma. Chức năng chính của nó là hấp phụ siêuLàm sạch các tấm mỏng (như wafer silicon) và giữ cho vật liệu hấp phụ ở độ phẳng tốt, cũng có thể ức chế biến dạng của vật liệu bị hấp phụ trong quá trình và nó có thể điều chỉnh nhiệt độ của chất hấp phụ.

Một mâm cặp tĩnh điện (ESC) là một loại Chuck đặc biệt sử dụng lực tĩnh điện để giữ, nhấn và nhặt các vật thể (phôi). Bất kỳ vật liệu nào mang các điện tích tích cực và tiêu cực là vô hình đối với mắt thường. Khi vật liệu được đặt trên ESC và điện áp lưỡng cực được áp dụng cho các điện cực bên trong của ESC, các điện tích dương và âm sẽ di chuyển trong vật liệu để phù hợp với độ phân cực của các điện cực bên trong của ESC. Điểm thu hút này giữa ESC và vật liệu được gọi là lực tĩnh điện và cũng là nguyên tắc cơ bản đằng sau các mâm cặp của chúng tôi.

Ưu điểm sản phẩm

Nó có phạm vi nhiệt độ hoạt động rộng (-50 đến 700)

Các cốc hút tĩnh điện này có độ bền tuyệt vời, độ dẫn nhiệt và điện trở sốc nhiệt, và có thể thích ứng với phạm vi nhiệt độ rộng thông qua kiểm soát điện trở suất gốm độc quyền của NGK.

Kháng ăn mòn cao

Những cốc hút tĩnh điện này có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời đối với khí halogen.

Xử lý hạt thấp

Điều trị hạt thấp có thể đạt được thông qua xử lý bề mặt và làm sạch đặc biệt

Độ tinh khiết cao

Các sản phẩm có độ tinh khiết 99,9% trở lên cũng có sẵn.

Chức năng sưởi ấm

Công nghệ nhúng phần tử sưởi ấm có độ chính xác cao có thể được tích hợp với chức năng nóng và nhiệt độ wafer có thể được kiểm soát trong phạm vi ± 1%.

Chức năng làm mát

Những cốc hút tĩnh điện này có hiệu suất làm mát cực cao bằng cách liên kết các tấm gốm có độ dẫn nhiệt và tấm làm mát cao.

Điện cực tần số vô tuyến

Các điện cực kim loại số lượng lớn có thể đồng thời cung cấp kẹp wafer ổn định và tạo ra tần số vô tuyến.

Parameter

1.Trong lĩnh vực sản xuất bán dẫn và sản xuất điện tử: Trong quá trình sản xuất bán dẫn và sản xuất điện tử, cốc hút tĩnh điện được sử dụng để cố định và xử lý các tấm silicon mỏng và mỏng manh, wafer, vv Ưu điểm của nó nằm trong lực hấp phụ mạnh, không có căng thẳng cơ học, và hoạt động đơn giản, giúp cải thiện hiệu quả và hiệu quả.

2. Ngành thủy tinh và gốm sứ: Trong các quá trình cắt, mài và xử lý thủy tinh và gốm sứ, cốc hút tĩnh điện có thể thực hiện các hoạt động không phá hủy trên vật liệu giòn, giảm tốc độ phá vỡ sản phẩm.

3. Sản xuất máy móc chính xác và các thành phần quang học: Đối với máy móc chính xác và các thành phần quang học, cốc hút tĩnh điện có thể cung cấp lực hấp phụ ổn định, ngăn ngừa biến dạng hoặc trầy xước trong quá trình xử lý.

4. Dây chuyền sản xuất tự động: Trong các dây chuyền sản xuất tự động, cốc hút tĩnh điện được sử dụng rộng rãi trong định vị, xử lý và lắp ráp các bộ phận, v.v., tăng cường mức độ tự động hóa và hiệu quả của dây chuyền sản xuất.