Silicon cacbua vòi hoa sen

Đầu vòi hoa sen silicon bán dẫn vetek chủ yếu được làm bằng sic. Trong quá trình xử lý chất bán dẫn, chức năng chính của đầu vòi hoa sen silicon là phân phối đều khí phản ứng để đảm bảo sự hình thành màng thống nhất trong thời gianlắng đọng hơi hóa học (CVD)hoặclắng đọng hơi vật lý (PVD)quá trình. Do tính chất tuyệt vời của SIC như độ dẫn nhiệt cao và độ ổn định hóa học, đầu vòi hoa sen sic có thể hoạt động hiệu quả ở nhiệt độ cao, giảm độ không đồng đều của dòng khí trong quá trìnhquá trình lắng đọng, và do đó cải thiện chất lượng của lớp phim.

Đầu vòi hoa sen cacbua silicon có thể phân phối khí phản ứng thông qua nhiều vòi phun với khẩu độ tương tự, đảm bảo lưu lượng khí đồng đều, tránh nồng độ cục bộ quá cao hoặc quá thấp, và do đó cải thiện chất lượng của màng. Kết hợp với điện trở nhiệt độ cao tuyệt vời và sự ổn định hóa học củaCVD sic, không có hạt hoặc chất gây ô nhiễm nào được giải phóng trongQuá trình lắng đọng phim, là rất quan trọng để duy trì độ tinh khiết của sự lắng đọng phim.

Ma trận hiệu suất cốt lõi

Các chỉ số chính Tiêu chuẩn kiểm tra Thông số kỹ thuật

Vật liệu cơ sở 6N Lớp hóa chất lắng đọng Hóa học Silicon Carbide Semi F47-0703

Độ dẫn nhiệt (25 ℃) 330 W/(M · K) ± 5%ASTM E1461

Phạm vi nhiệt độ hoạt động -196 ~ 1650 ℃ Phương pháp ổn định chu kỳ MIL-STD-883

Độ chính xác gia công khẩu độ ± 0,005mm (công nghệ gia công siêu nhỏ bằng laser) ISO 286-2

Độ nhám bề mặt RA ≤0,05μm (Điều trị cấp gương)

Lợi thế đổi mới quá trình ba

Điều khiển luồng không khí nano

Thiết kế ma trận 1080: Áp dụng cấu trúc tổ ong không đối xứng để đạt được tính đồng nhất phân phối khí 95,7% (dữ liệu đo lường)

Công nghệ khẩu độ gradient: Vòng ngoài 0,35mm → Bố cục tiến bộ trung tâm 0,2mm, loại bỏ hiệu ứng cạnh

Không có ô nhiễm bảo vệ tiền gửi

Xử lý bề mặt cực kỳ sạch sẽ:

Etching chùm ion sẽ loại bỏ lớp bị hư hỏng dưới bề mặt

Lập lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) AL₂O₃ Phim bảo vệ (Tùy chọn)

Độ ổn định cơ học

Hệ số biến dạng nhiệt: ≤0,8μm/m · (thấp hơn 73% so với vật liệu truyền thống)

Đã vượt qua 3000 thử nghiệm sốc nhiệt (RT↔1450 chu kỳ)

Dữ liệu SEM củaCấu trúc tinh thể màng CVD sic：

Tính chất vật lý cơ bản của CVD Lớp phủ sic：

Cửa hàng đầu vòi hoa sen silicon bán dẫn vetek ：