Bồn tắm thạch anh bán dẫn

Phòng tắm thạch anh của chất bán dẫn Vetek được thiết kế để làm sạch và xử lý các tấm silicon và được sử dụng rộng rãi trong chất bán dẫn, quang điện và các lĩnh vực khác. Bồn tắm thạch anh cho chất bán dẫn được làm bằng vật liệu thạch anh có độ tinh khiết cao, có khả năng chịu nhiệt độ cao và độ ổn định hóa học cao tuyệt vời, và có thể hoạt động ổn định trong nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn cao. Cho dù đó là làm sạch các tấm wafer lớn với đường kính 300mm hoặc các yêu cầu tùy chỉnh của các thông số kỹ thuật khác, bồn tắm thạch anh bán dẫn có thể cung cấp các giải pháp hiệu quả và đáng tin cậy để trao quyền cho dây chuyền sản xuất của bạn.

Bồn tắm thạch anh bán dẫn Tính năng sản phẩm

1. Thiết kế công suất lớn để đáp ứng nhu cầu làm sạch hàng loạt

● Chiềuy 50 tấm wafer: Thiết kế tiêu chuẩn của bồn tắm thạch anh bán dẫn hỗ trợ làm sạch tới 50 tấm wafer cùng một lúc, cải thiện đáng kể hiệu quả làm sạch.

● Tương thích với nhiều kích cỡ: Hỗ trợ các tấm wafer có đường kính tối đa 300mm và cũng có thể được tùy chỉnh theo nhu cầu. Các kích thước khác, chẳng hạn như 150mm hoặc 200mm, có thể đáp ứng nhu cầu của các dòng quy trình khác nhau.

● Thiết kế mô -đun: Thích hợp cho siliconvệtTrong các thông số kỹ thuật khác nhau, hỗ trợ chuyển đổi nhanh và đáp ứng linh hoạt với các công việc làm sạch khác nhau.

2. Vật liệu thạch anh tinh khiết cao, đảm bảo hiệu suất tuyệt vời

● Điện trở nhiệt độ cao: Vật liệu thạch anh có thể chịu được phạm vi nhiệt độ từ 0 ° C đến 1200 ° C, phù hợp cho nhiều quá trình làm sạch nhiệt và xử lý nhiệt.

● Khả năng chống ăn mòn:Xe tăng thạch anhCó thể chống lại sự ăn mòn của các axit mạnh (như HF, HCl) và kiềm mạnh trong một thời gian dài, và đặc biệt phù hợp để xử lý lưu thông các dung dịch khắc hóa học hoặc dung dịch làm sạch.

● Độ sạch cao: Bề mặt thành bên trong của bể thạch anh bán dẫn mịn và không có lỗ chân lông, và sẽ không hấp phụ các hạt hoặc dư lượng hóa học, tránh ô nhiễm chip một cách hiệu quả.

3. Tùy chỉnh linh hoạt để đáp ứng các yêu cầu quy trình khác nhau

● Tùy chỉnh kích thước: Điều chỉnh kích thước, độ sâu và công suất của bồn tắm theo nhu cầu của người dùng để hỗ trợ nhu cầu làm sạch của các thông số kỹ thuật chip đặc biệt.

● Hỗ trợ tích hợp tự động: Tương thích với thiết bị tự động hóa công nghiệp để đạt được hoạt động hoàn toàn tự động của việc làm sạch chip.

4. Quy trình chính xác cao để đảm bảo chất lượng sản phẩm

● Hàn và xử lý chính xác: Sử dụng công nghệ xử lý tiên tiến để đảm bảo sự ổn định và niêm phong thiết bị trong môi trường nhiệt độ cao và áp suất cao.

● Thiết kế bền: Sau nhiều bài kiểm tra độ bền, đảm bảo rằng thiết bị thực hiện như trước khi sử dụng tần số cao dài hạn.

● Độ tin cậy cao: Tránh các vết trầy xước, vỡ hoặc ô nhiễm chéo của wafer trong quá trình làm sạch và cải thiện tỷ lệ năng suất.

Thông số kỹ thuật tắm thạch anh bán dẫn

Các kịch bản áp dụng của bồn tắm thạch anh cho chất bán dẫn

1. Ngành công nghiệp bán dẫn

● Làm sạch wafer silicon: Được sử dụng để loại bỏ các hạt, lớp oxit và dư lượng hữu cơ trên bề mặt của wafer.

● Khắc xử lý chất lỏng: Hợp tác với quá trình khắc hóa học để loại bỏ chính xác vật liệu trong các khu vực cụ thể.

2. Công nghiệp quang điện

● Làm sạch pin mặt trời: Loại bỏ các chất ô nhiễm được tạo ra trong quá trình sản xuất và cải thiện hiệu quả chuyển đổi của tế bào.

3. Các thí nghiệm nghiên cứu khoa học

● Khoa học vật liệu: Thích hợp để làm sạch các mẫu thí nghiệm có độ tinh khiết cao.

● Xử lý Micro-Nano: Hỗ trợ nhiều thiết bị thử nghiệm và dòng xử lý.

Nó bán dẫn Cửa hàng sản xuất tắm thạch anh