Bệ thạch anh hợp nhất ALD

Bệ thạch anh hợp nhất ALD bán dẫn VeTek đóng vai trò quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn như một cấu trúc hỗ trợ choThuyền Quartz, được sử dụng để giữbánh xốp. Bệ Quartz hợp nhất giúp đạt được sự lắng đọng màng thống nhất bằng cách duy trì nhiệt độ ổn định, ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất và độ tin cậy của các thiết bị bán dẫn. Ngoài ra, bệ thạch anh đảm bảo phân bố nhiệt và ánh sáng đồng đều trong buồng quá trình, do đó cải thiện chất lượng tổng thể của quá trình lắng đọng.

Ưu điểm của vật liệu bệ thạch anh hợp nhất ALD

Chịu nhiệt độ cao: Điểm làm mềm của bệ thạch anh hợp nhất cao tới khoảng 1730 ° C, và nó có thể chịu được hoạt động nhiệt độ cao 1100 ° C đến 1250 ° C trong một thời gian dài và có thể tiếp xúc với môi trường nhiệt độ khắc nghiệt lên đến 1450 ° C trong một thời gian ngắn.

Chống ăn mòn tuyệt vời: Quartz hợp nhất có tính trơ hóa hóa học cao đối với hầu hết các axit ngoại trừ axit hydrofluoric. Điện trở axit của nó cao hơn 30 lần so với gốm sứ và cao hơn 150 lần so với thép không gỉ. Quartz hợp nhất là không thể so sánh được về mặt hóa học ở nhiệt độ cao, làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng cho các quá trình hóa học phức tạp.

Độ ổn định nhiệt: Một tính năng chính của vật liệu bệ thạch anh hợp nhất là hệ số giãn nở nhiệt cực thấp. Điều này có nghĩa là nó có thể dễ dàng xử lý biến động nhiệt độ mạnh mẽ mà không bị nứt. Ví dụ, thạch anh silica hợp nhất có thể được làm nóng nhanh đến 1100 ° C và ngâm trực tiếp trong nước lạnh mà không bị hư hại, một tính năng quan trọng trong điều kiện sản xuất căng thẳng cao.

Quy trình sản xuất nghiêm ngặt: Quá trình sản xuất bệ silica hợp nhất tuân thủ nghiêm ngặt các tiêu chuẩn chất lượng cao. Quy trình sản xuất sử dụng các quy trình hình thành và hàn nóng, thường được hoàn thành trong môi trường phòng sạch lớp 10.000. Sau đó, bệ kính thạch anh hợp nhất được làm sạch hoàn toàn bằng nước siêu tinh khiết (18 MΩ) để đảm bảo độ tinh khiết của sản phẩm và hiệu suất tối ưu. Mỗi sản phẩm hoàn chỉnh được kiểm tra nghiêm ngặt, làm sạch và đóng gói trong phòng sạch lớp 1.000 trở lên để đáp ứng các tiêu chuẩn cao của ngành công nghiệp bán dẫn.

Vật liệu thạch anh silica tinh khiết cao

Bệ thạch anh hợp nhất VeTeksemi ALD sử dụng vật liệu thạch anh mờ đục có độ tinh khiết cao để cách ly nhiệt và ánh sáng một cách hiệu quả. Đặc tính che chắn nhiệt và che ánh sáng tuyệt vời của nó cho phép nó duy trì sự phân bố nhiệt độ đồng đều trong buồng xử lý, đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán của mỏnglắng đọng phimtrên bề mặt wafer.

Trường ứng dụng

Các bệ thạch anh hợp nhất được sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực của ngành công nghiệp bán dẫn do hiệu suất tuyệt vời của chúng. TrongQuá trình lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), nó hỗ trợ kiểm soát chính xác sự tăng trưởng phim và đảm bảo sự tiến bộ của các thiết bị bán dẫn. TrongQuá trình lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp (LPCVD), độ ổn định nhiệt và khả năng che chắn ánh sáng của Bệ thạch anh có độ tinh khiết cao đảm bảo cho sự lắng đọng đồng đều của màng mỏng, từ đó cải thiện hiệu suất và năng suất của thiết bị.

Ngoài ra, trong quá trình khuếch tán wafer, khả năng chịu nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn hóa học của Bệ thạch anh hợp nhất đảm bảo độ tin cậy và tính nhất quán của quá trình pha tạp vật liệu bán dẫn. Các quy trình chính này quyết định hiệu suất điện của các thiết bị bán dẫn và vật liệu Thạch anh nung chảy chất lượng cao đóng vai trò không thể thiếu trong việc đạt được kết quả tốt nhất của các quy trình này.

Bán dẫn Vetek ALD Hợp nhất các cửa hàng bệ thạch anh: