Bình thạch anh bán dẫn

Khởi độngChất bán dẫnBình chuông thạch anhđóng nhiều vai trò quan trọng trong xử lý chất bán dẫn. cái hệ thống chân không chuông jarkhông chỉ cung cấp môi trường phản ứng ổn định và được kiểm soát mà còn đảm bảo hiệu quả và độ chính xác của các quy trình khác nhau thông qua độ ổn định nhiệt tuyệt vời, độ trơ hóa học và độ trong suốt quang học. Những đặc điểm này cũng quyết định rằngbuồng chân không chuônglà sản phẩm thành phần không thể thiếu trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.

Khởi độngQuartz bán dẫn Tạo một môi trường xử lý kín cho phép các khí xử lý được phân phối đều và phản ứng với bề mặt wafer trong điều kiện được kiểm soát. Vì thế,Bình thạch anh bán dẫnthường được sử dụng trong các quá trình như CVD, khuếch tán và oxy hóa để kiểm soát chính xác thành phần và áp suất khí quyển, từ đó đảm bảo tính đồng nhất của màng và độ tinh khiết của vật liệu.

Đồng thời, vật liệu thạch anh có độ ổn định nhiệt tuyệt vời, khả năng chịu nhiệt độ cao (môi trường nhiệt độ cao trong xử lý chất bán dẫn thường cao tới 1000°C trở lên) và đặc tính sản phẩm là duy trì hình dạng và kích thước ổn định trong quá trình gia nhiệt và làm mát. Điều này xác định rằngBình chuông thạch anhhoàn toàn có thể đảm bảo tính đồng nhất của nhiệt độ bề mặt wafer trong môi trường nhiệt độ cao của khuếch tán và oxy hóa, do đó cải thiện chất lượng và tính đồng nhất của lớp lắng đọng hoặc khuếch tán.

Quan trọng hơn,Thạch anh có độ tinh khiết cao bán dẫn Khởi động không dễ phản ứng với khí xử lý trong môi trường nhiệt độ cao và có khả năng chống ăn mòn mạnh. Đặc tính sản phẩm này xác định rằng trong các quy trình sử dụng khí ăn mòn (chẳng hạn như một số quy trình CVD),Bình thạch anh bán dẫnCó thể hoàn toàn duy trì sự ổn định hóa học, do đó tránh ô nhiễm các thiết bị bán dẫn.

Chất bán dẫn VeTekBình chuông thạch anh:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: