Tin tức trong ngành

Thuyền thạch anh là một thành phần chịu tải chính được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Nó chủ yếu được sử dụng để xử lý nhiệt độ cao của các tấm wafer, chẳng hạn như khuếch tán, oxy hóa và ủ. Sự ổn định nhiệt tuyệt vời của nó, đặc điểm ô nhiễm thấp và khả năng chống ăn mòn làm cho nó trở thành một vật liệu không thể thiếu trong ngành công nghiệp bán dẫn. Bài viết này sẽ giải thích về vật liệu, tính chất vật lý, phân loại, kịch bản ứng dụng của Thuyền Quartz và sự khác biệt của nó từ Thuyền Graphite Pecvd.

Vật liệu cốt lõi của Thuyền than chì PECVD là vật liệu than chì đẳng hướng độ tinh khiết cao (độ tinh khiết thường là ≥9999%), có độ dẫn điện tuyệt vời, độ dẫn nhiệt và mật độ. So với những chiếc thuyền than chì thông thường, thuyền than chì PECVD có nhiều lợi thế về vật lý và hóa học và chủ yếu được sử dụng trong các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, đặc biệt là trong các quy trình PECVD và CVD.

Các khay than chì MOCVD đóng một vai trò quan trọng trong quá trình epiticular. Bài viết này đưa ra một phân tích chi tiết về việc lựa chọn các khay than chì MOCVD từ các quan điểm của các thuộc tính vật liệu và kịch bản ứng dụng.