Tin tức trong ngành

Trong thế giới cổ phần cao của chế tạo chất bán dẫn, độ chính xác và ổn định là tất cả mọi thứ, và đó là nơi mà Chuck tĩnh điện (ESC) bước vào. Không chỉ là một công cụ giữ, ESC sử dụng lực tĩnh điện để kẹp chặt các wafer trong các quá trình quan trọng như khắc, lắng đọng và cấy ghép ion. Nhưng nó thực sự hoạt động như thế nào? Tại sao nó vượt trội hơn so với kẹp cơ học truyền thống? Và nó đóng vai trò gì trong việc đạt được độ chính xác nano và hiệu quả thông lượng? Chào mừng bạn đến để đọc.

Nguyên tắc Dechuck của Chuck tĩnh điện là một phần quan trọng trong quy trình làm việc của nó liên quan đến việc loại bỏ lực tĩnh điện và các cơ chế giải phóng wafer.

Glassy Carbon là một carbon không có trọng lượng kết hợp các tính chất của thủy tinh và gốm. Nó có nhiều tính chất như kháng nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn, độ dẫn điện tốt, v.v ... Blog này phân tích lịch sử nghiên cứu và xu hướng phát triển trong tương lai của carbon thủy tinh, đáng đọc.