Tin tức trong ngành

Trong sự phát triển của các tinh thể đơn SiC và ALN bằng phương pháp vận chuyển hơi vật lý (PVT), các thành phần quan trọng như nồi nấu kim loại, giá đỡ hạt giống và vòng hướng dẫn đóng vai trò quan trọng. Như được mô tả trong Hình 2 [1], trong quá trình PVT, tinh thể hạt được định vị ở vùng nhiệt độ thấp hơn, trong khi nguyên liệu SIC SIC tiếp xúc với nhiệt độ cao hơn (trên 2400).

Chất nền silicon có nhiều khiếm khuyết và không thể được xử lý trực tiếp. Một màng mỏng một tinh thể cụ thể cần được phát triển trên chúng thông qua một quá trình epiticular để tạo ra các tấm wafer chip. Bộ phim mỏng này là lớp epiticular. Hầu như tất cả các thiết bị cacbua silicon được thực hiện trên các vật liệu epiticular. Các vật liệu epitaxial đồng nhất silicon chất lượng cao là cơ sở cho sự phát triển của các thiết bị cacbua silicon. Hiệu suất của các vật liệu epiticular trực tiếp xác định việc thực hiện hiệu suất của các thiết bị cacbua silicon.

Silicon cacbua đang định hình lại ngành công nghiệp bán dẫn cho các ứng dụng năng lượng và nhiệt độ cao, với các đặc tính toàn diện của nó, từ chất nền epiticular đến lớp phủ bảo vệ đến xe điện và hệ thống năng lượng tái tạo.

Độ tinh khiết cao: Lớp epiticular silicon được hình thành bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD) có độ tinh khiết cực cao, độ phẳng bề mặt tốt hơn và mật độ khuyết tật thấp hơn so với các tấm wafer truyền thống.

Carbide silicon rắn (SIC) đã trở thành một trong những vật liệu chính trong sản xuất chất bán dẫn do tính chất vật lý độc đáo của nó. Sau đây là một phân tích về lợi thế và giá trị thực tế của nó dựa trên các tính chất vật lý và các ứng dụng cụ thể của nó trong thiết bị bán dẫn (như chất mang wafer, đầu vòi hoa sen, vòng tập trung, v.v.).