Tin tức trong ngành

Lớp phủ cacbua tantalum (TAC) có thể kéo dài đáng kể tuổi thọ của các bộ phận than chì bằng cách cải thiện khả năng chống nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn, tính chất cơ học và khả năng quản lý nhiệt. Đặc điểm độ tinh khiết cao của nó làm giảm ô nhiễm tạp chất, cải thiện chất lượng tăng trưởng tinh thể và tăng cường hiệu quả năng lượng. Nó phù hợp cho sản xuất chất bán dẫn và các ứng dụng tăng trưởng tinh thể trong môi trường nhiệt độ cao, có tính ăn mòn cao.

Lớp phủ Tantalum cacbua (TAC) được sử dụng rộng rãi trong trường bán dẫn, chủ yếu cho các thành phần lò phản ứng tăng trưởng epiticular, các thành phần khóa tăng trưởng tinh thể đơn, các thành phần công nghiệp nhiệt độ cao, hệ thống MOCVD nóng và chất dẫn điện.

Trong quá trình tăng trưởng epiticular SIC, sự cố huyền phù than chì được phủ SIC có thể xảy ra. Bài viết này tiến hành một phân tích nghiêm ngặt về hiện tượng thất bại của huyền phù than chì SIC, chủ yếu bao gồm hai yếu tố: lỗi khí epiticular sic và lỗi phủ SIC.