Các bộ phận bằng than chì hình bán nguyệt được phủ SiC

Trong buồng phản ứng của lò tăng trưởng epiticular SiC, các bộ phận than chì Halfmoon phủ SiC là thành phần chính để tối ưu hóa sự phân phối dòng khí, kiểm soát trường nhiệt và tính đồng nhất của bầu không khí phản ứng. Chúng thường được làm bằng lớp phủ SiCthan chì,được thiết kế theo hình bán nguyệt, nằm ở phần than chì trên và dưới của buồng phản ứng, bao quanh khu vực đế.

    •Phần than chì nửa vầng trăng trên: Được cài đặt ở phần trên của buồng phản ứng, gần đầu vào khí, chịu trách nhiệm hướng dẫn khí phản ứng chảy về phía bề mặt chất nền.

    •Phần than chì bán nguyệt phía dưới: Nằm ở dưới cùng của buồng phản ứng, thường là bên dưới giá đỡ chất nền, được sử dụng để điều khiển hướng dòng khí và tối ưu hóa trường nhiệt và phân phối khí ở dưới cùng của chất nền.

Trong thời gianQuá trình epitaxy SiC, Phần than chì nửa mặt trăng trên giúp hướng dẫn dòng khí được phân phối đều trên chất nền, ngăn không cho khí ảnh hưởng trực tiếp đến bề mặt chất nền và gây ra nhiễu loạn quá nhiệt hoặc lưu lượng không khí cục bộ. Phần than chì nửa mặt trăng dưới cho phép khí chảy trơn tru qua chất nền và sau đó được thải ra, đồng thời ngăn chặn nhiễu loạn ảnh hưởng đến tính đồng nhất tăng trưởng của lớp epiticular.

Về mặt điều chỉnh trường nhiệt, các bộ phận than chì Halfmoon được phủ SiC giúp phân bổ nhiệt đều trong buồng phản ứng thông qua hình dạng và vị trí. Phần than chì bán nguyệt phía trên có thể phản xạ hiệu quả nhiệt bức xạ của lò sưởi để đảm bảo nhiệt độ phía trên bề mặt ổn định. Phần than chì hình bán nguyệt phía dưới cũng có vai trò tương tự, giúp phân bổ nhiệt đều bên dưới đế thông qua dẫn nhiệt nhằm ngăn chặn sự chênh lệch nhiệt độ quá mức.

Lớp phủ SIC làm cho các thành phần chống lại nhiệt độ cao và dẫn điện có nhiệt, do đó, các bộ phận nửa phân tích của Vetek có thể có tuổi thọ dài. Được thiết kế cẩn thận, các bộ phận than chì nửa mặt trăng của chúng tôi cho sic epitaxy có thể được tích hợp liền mạch vào nhiều lò phản ứng epiticular, giúp cải thiện hiệu quả và độ tin cậy chung của quá trình sản xuất bán dẫn. Bất cứ điều gì SIC lớp phủ nửa bộ phận than chì của bạn cần, xin vui lòng liên hệ với chất bán dẫn Vetek.

VeteksemCửa hàng bán linh kiện than chì bán nguyệt phủ SiC: