Các sản phẩm

Lớp phủ silicon cacbua

VeTek Semiconductor chuyên sản xuất các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua siêu tinh khiết, các lớp phủ này được thiết kế để ứng dụng cho các thành phần than chì, gốm sứ và kim loại chịu lửa tinh khiết.


Lớp phủ có độ tinh khiết cao của chúng tôi chủ yếu được nhắm mục tiêu sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử. Chúng đóng vai trò như một lớp bảo vệ cho các chất mang bán dẫn, chất nhạy cảm và bộ phận làm nóng, bảo vệ chúng khỏi môi trường ăn mòn và phản ứng gặp phải trong các quy trình như MOCVD và EPI. Các quy trình này là không thể thiếu trong quá trình xử lý wafer và sản xuất thiết bị. Ngoài ra, lớp phủ của chúng tôi rất phù hợp cho các ứng dụng trong lò chân không và gia nhiệt mẫu, nơi gặp phải môi trường chân không, phản ứng và oxy cao.


Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi cung cấp giải pháp toàn diện với năng lực xưởng máy tiên tiến của mình. Điều này cho phép chúng tôi sản xuất các bộ phận cơ bản bằng cách sử dụng than chì, gốm sứ hoặc kim loại chịu lửa và áp dụng lớp phủ gốm SiC hoặc TaC ngay trong nhà. Chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ phủ cho các bộ phận do khách hàng cung cấp, đảm bảo tính linh hoạt để đáp ứng nhu cầu đa dạng.


Các sản phẩm Lớp phủ Silicon Carbide của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong epit Wax Si, epit Wax SiC, hệ thống MOCVD, quy trình RTP/RTA, quy trình khắc axit, quy trình khắc ICP/PSS, quy trình xử lý các loại đèn LED khác nhau, bao gồm đèn LED xanh dương và xanh lục, đèn LED UV và tia cực tím sâu LED, v.v., được điều chỉnh phù hợp với các thiết bị từ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, v.v.


Các bộ phận lò phản ứng chúng ta có thể làm:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Lớp phủ silicon cacbua có một số ưu điểm độc đáo:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Thông số lớp phủ silicon cacbua bán dẫn VeTek

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Mật độ lớp phủ SiC 3,21 g/cm³
Lớp phủ SiC Độ cứng Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
kích thước hạt 2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học 99,99995%
Công suất nhiệt 640 J·kg-1·K-1
Nhiệt độ thăng hoa 2700oC
Độ bền uốn 415 MPa RT 4 điểm
Mô đun của Young Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Độ dẫn nhiệt 300W·m-1·K-1
Mở rộng nhiệt (CTE) 4,5×10-6K-1

CẤU TRÚC TINH THỂ PHIM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Nhiệt độ ủ nhiệt nhanh

Nhiệt độ ủ nhiệt nhanh

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất và nhà cung cấp độ nhạy cảm nhiệt nhanh hàng đầu tại Trung Quốc, tập trung vào việc cung cấp các giải pháp hiệu suất cao cho ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi có nhiều năm tích lũy kỹ thuật sâu trong lĩnh vực vật liệu phủ SIC. Nhiệt độ ủ nhiệt nhanh của chúng tôi có khả năng chống nhiệt độ cao tuyệt vời và độ dẫn nhiệt tuyệt vời để đáp ứng nhu cầu sản xuất epiticular wafer. Bạn được chào đón đến thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc để tìm hiểu thêm về công nghệ và sản phẩm của chúng tôi.
Silicon dựa trên GaN Epitaxor

Silicon dựa trên GaN Epitaxor

Mối quan sát epiticular dựa trên silicon là thành phần cốt lõi cần thiết cho sản xuất epiticular của GaN. Vetkemonon Silicon dựa trên Silicon Mensceptor được thiết kế đặc biệt cho hệ thống lò phản ứng epiticular dựa trên silicon, với những ưu điểm như độ tinh khiết cao, kháng nhiệt độ cao và kháng ăn mòn cao. Chào mừng bạn tham vấn thêm.
Phần Halfmoon 8 inch cho Lò phản ứng LPE

Phần Halfmoon 8 inch cho Lò phản ứng LPE

Bán dẫn Vetek là nhà sản xuất thiết bị bán dẫn hàng đầu tại Trung Quốc, tập trung vào R & D và sản xuất một phần Halfmoon cho Lò phản ứng LPE. Chúng tôi đã tích lũy kinh nghiệm phong phú trong những năm qua, đặc biệt là trong các vật liệu phủ SIC và cam kết cung cấp các giải pháp hiệu quả phù hợp với các lò phản ứng epiticular LPE. Phần Halfmoon 8 inch của chúng tôi cho Lò phản ứng LPE có hiệu suất và khả năng tương thích tuyệt vời, và là một thành phần chính không thể thiếu trong sản xuất epiticular. Chào mừng bạn có thể tìm hiểu thêm về các sản phẩm của chúng tôi.
Sic phủ Pancake Masceptor cho LPE PE3061S 6 '' wafers

Sic phủ Pancake Masceptor cho LPE PE3061S 6 '' wafers

Chất nhạy cảm bánh kếp tráng phủ SiC cho tấm wafer LPE PE3061S 6 '' là một trong những thành phần cốt lõi được sử dụng trong xử lý tấm wafer epiticular 6 ''. VeTek Semiconductor hiện là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu về Chất nhạy cảm bánh kếp phủ SiC cho tấm wafer LPE PE3061S 6'' tại Trung Quốc. Chất nhạy cảm bánh kếp phủ SiC mà nó cung cấp có các đặc tính tuyệt vời như khả năng chống ăn mòn cao, dẫn nhiệt tốt và độ đồng đều tốt. Mong nhận được yêu cầu của bạn.
Hỗ trợ phủ SIC cho LPE PE2061S

Hỗ trợ phủ SIC cho LPE PE2061S

Bán dẫn Vetek là nhà sản xuất và nhà cung cấp các thành phần than chì SIC SIC ở Trung Quốc. Hỗ trợ phủ SIC cho LPE PE2061S phù hợp cho lò phản ứng epiticular LPE Silicon. Là đáy của cơ sở thùng, hỗ trợ SIC được phủ SIC cho LPE PE2061 có thể chịu được nhiệt độ cao 1600 độ C, từ đó đạt được tuổi thọ sản phẩm cực kỳ dài và giảm chi phí khách hàng. Mong được yêu cầu của bạn và giao tiếp hơn nữa.
Tấm trên cùng được phủ sic cho LPE PE2061S

Tấm trên cùng được phủ sic cho LPE PE2061S

Chất bán dẫn Vetek đã tham gia sâu vào các sản phẩm phủ SIC trong nhiều năm và đã trở thành nhà sản xuất và nhà cung cấp tấm phủ SIC hàng đầu cho LPE PE2061S tại Trung Quốc. Tấm trên cùng được phủ SIC cho LPE PE2061 mà chúng tôi cung cấp được thiết kế cho các lò phản ứng epiticular LPE silicon và nằm trên đỉnh cùng với đế thùng. Tấm trên cùng được phủ SIC này cho LPE PE2061S có các đặc điểm tuyệt vời như độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt tuyệt vời và tính đồng nhất, giúp phát triển các lớp epiticular chất lượng cao. Bất kể bạn cần sản phẩm nào, chúng tôi mong chờ cuộc điều tra của bạn.
Là một nhà sản xuất và nhà cung cấp chuyên nghiệp Lớp phủ silicon cacbua tại Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng của chúng tôi. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng các nhu cầu cụ thể của khu vực của bạn hoặc muốn mua nâng cao và bền Lớp phủ silicon cacbua được thực hiện tại Trung Quốc, bạn có thể để lại cho chúng tôi một tin nhắn.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept