Hỗ trợ than chì phủ TAC

Chúng tôi hoan nghênh bạn đến nhà máy VeTek Semiconductor của chúng tôi để mua Chất cảm ứng than chì phủ TaC bán chạy nhất, giá thấp và chất lượng cao. Chúng tôi mong muốn được hợp tác với bạn.

Điểm nóng chảy của vật liệu gốm cacbua Tantalum lên tới 3880oC, là điểm nóng chảy cao và tính ổn định hóa học tốt của hợp chất, môi trường nhiệt độ cao của nó vẫn có thể duy trì hiệu suất ổn định, ngoài ra, nó còn có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn hóa học, hóa chất tốt và khả năng tương thích cơ học với vật liệu cacbon và các đặc tính khác, khiến nó trở thành vật liệu phủ bảo vệ nền than chì lý tưởng. Lớp phủ cacbua tantalum có thể bảo vệ hiệu quả các thành phần than chì khỏi ảnh hưởng của hơi amoniac nóng, hydro và silicon và kim loại nóng chảy trong môi trường sử dụng khắc nghiệt, kéo dài đáng kể tuổi thọ của các thành phần than chì và ức chế sự di chuyển của tạp chất trong than chì, đảm bảo chất lượng của epitaxy và sự phát triển của tinh thể. Nó chủ yếu được sử dụng trong quy trình gốm ướt.

Sự lắng đọng hơi hóa học (CVD) là phương pháp chuẩn bị trưởng thành và tối ưu nhất cho lớp phủ cacbua tantalum trên bề mặt than chì.

Phương pháp phủ CVD TaC cho chất nhạy cảm than chì được phủ TaC:

Quá trình phủ sử dụng Tacl5 và propylene làm nguồn carbon và nguồn tantalum tương ứng, và argon làm khí mang để đưa hơi pentachloride tantalum vào buồng phản ứng sau khi khí hóa nhiệt độ cao. Dưới nhiệt độ và áp suất đích, hơi của vật liệu tiền chất được hấp phụ trên bề mặt của phần than chì và một loạt các phản ứng hóa học phức tạp như phân hủy và kết hợp nguồn carbon và nguồn tantalum xảy ra. Đồng thời, một loạt các phản ứng bề mặt như khuếch tán tiền chất và giải hấp của các sản phẩm phụ cũng có liên quan. Cuối cùng, một lớp bảo vệ dày đặc được hình thành trên bề mặt của phần than chì, bảo vệ phần than chì khỏi ổn định trong điều kiện môi trường khắc nghiệt. Các kịch bản ứng dụng của vật liệu than chì được mở rộng đáng kể.

Thông số sản phẩm của Chất nhạy cảm than chì phủ TaC:

Cửa hàng sản xuất:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: