Lò nung tinh thể SiC gia nhiệt điện trở cỡ lớn

Thông số kỹ thuật

Ưu điểm cốt lõi

 ● Khả năng tương thích kích thước đầy đủ

Cho phép phát triển ổn định các tinh thể cacbua silic 6 inch, 8 inch và 12 inch, hoàn toàn tương thích với các hệ thống vật liệu dẫn điện, bán cách điện và loại N. Nó đáp ứng nhu cầu sản xuất các sản phẩm có thông số kỹ thuật khác nhau và thích ứng với các tình huống ứng dụng đa dạng.

● Tính ổn định của quy trình mạnh mẽ

Các tinh thể 8 inch có tính nhất quán đa dạng 4H tuyệt vời, hình dạng bề mặt ổn định và độ lặp lại cao; công nghệ tăng trưởng tinh thể cacbua silic 12 inch đã hoàn tất quá trình xác minh với tính khả thi sản xuất hàng loạt cao.

● Tỷ lệ khuyết tật tinh thể thấp

Thông qua việc kiểm soát chính xác nhiệt độ, áp suất và công suất, các khuyết tật trong tinh thể được giảm thiểu một cách hiệu quả với các chỉ số chính đáp ứng tiêu chuẩn—EPD=1435 ea/cm2, BPD=381 ea/cm2, TSD=0 ea/cm2 và TED=1054 ea/cm2. Tất cả các chỉ số khuyết tật đều đáp ứng yêu cầu chất lượng tinh thể cao cấp, cải thiện đáng kể năng suất phôi.

● Chi phí vận hành có thể kiểm soát

Nó có mức tiêu thụ năng lượng thấp nhất trong số các sản phẩm tương tự. Các bộ phận cốt lõi (như tấm chắn cách nhiệt) có chu kỳ thay thế dài từ 6-12 tháng, giúp giảm chi phí vận hành toàn diện.

● Tiện ích Plug-and-Play

Các gói công thức và quy trình tùy chỉnh dựa trên đặc tính của thiết bị, được xác minh thông qua sản xuất dài hạn và nhiều lô, cho phép sản xuất ngay sau khi lắp đặt.

● An toàn và tin cậy

Áp dụng thiết kế tia lửa chống hồ quang đặc biệt để loại bỏ các mối nguy hiểm an toàn tiềm ẩn; chức năng giám sát và cảnh báo sớm theo thời gian thực chủ động tránh rủi ro vận hành.

● Hiệu suất chân không tuyệt vời

Các chỉ số tốc độ tăng áp suất và chân không cuối cùng vượt quá mức hàng đầu quốc tế, đảm bảo môi trường sạch sẽ cho sự phát triển của tinh thể.

● Vận hành và bảo trì thông minh

Có giao diện HMI trực quan kết hợp với khả năng ghi dữ liệu toàn diện, hỗ trợ các chức năng giám sát từ xa tùy chọn để quản lý sản xuất hiệu quả và thuận tiện.

Hiển thị trực quan hiệu suất cốt lõi

Đường cong chính xác kiểm soát nhiệt độ

Độ chính xác kiểm soát nhiệt độ của lò tăng trưởng tinh thể ≤ ± 0,3°C; Tổng quan về đường cong nhiệt độ

Biểu đồ độ chính xác kiểm soát áp suất

Độ chính xác kiểm soát áp suất của lò tăng trưởng tinh thể: 1,0 Torr, Độ chính xác kiểm soát áp suất: 0,001 Torr

Độ chính xác ổn định nguồn điện

Tính ổn định và thống nhất giữa các lò/mẻ: Độ ổn định chính xác của nguồn điện

Trong trạng thái tăng trưởng tinh thể, độ chính xác của điều khiển công suất trong quá trình tăng trưởng tinh thể ổn định là ± 0,15%.

Cửa hàng sản phẩm Veteksemiaon