Chất nhạy cảm được phủ MOCVD SiC

Thông số kỹ thuật

CẤU TRÚC TINH THỂ PHIM CVD SIC

Định nghĩa và thành phần sản phẩm

Bộ cảm biến phủ phủ VETEK MOCVD SiC là thành phần mang tấm bán dẫn cao cấp được thiết kế đặc biệt để xử lý epiticular của chất bán dẫn thế hệ thứ ba, chẳng hạn như GaN và SiC. Sản phẩm này tích hợp các đặc tính vật lý vượt trội của hai vật liệu hiệu suất cao:

Chất nền than chì có độ tinh khiết cao: Được sản xuất bằng công nghệ ép đẳng tĩnh để đảm bảo vật liệu cơ bản có tính toàn vẹn về cấu trúc đặc biệt, mật độ cao và độ ổn định khi xử lý nhiệt.

Lớp phủ CVD SiC: Một lớp bảo vệ cacbua silic (SiC) dày đặc, không bị căng thẳng được hình thành trên bề mặt than chì thông qua công nghệ lắng đọng hơi hóa học (CVD) tiên tiến.

Tại sao VETEK là sự đảm bảo lợi nhuận của bạn

Độ chính xác tối đa trong kiểm soát độ đồng đều nhiệt: Không giống như các chất mang thông thường, các chất nhạy cảm VETEK đạt được khả năng truyền nhiệt đồng bộ cao trên toàn bộ bề mặt thông qua việc kiểm soát độ dày lớp phủ và khả năng chịu nhiệt chính xác ở quy mô nanomet. Việc quản lý nhiệt phức tạp này giảm thiểu một cách hiệu quả độ lệch chuẩn bước sóng (STD) trên bề mặt tấm bán dẫn, tăng cường đáng kể cả chất lượng của tấm bán dẫn đơn và tính nhất quán của lô tổng thể.

Bảo vệ lâu dài không bị ô nhiễm hạt: Trong buồng phản ứng MOCVD chứa khí có tính ăn mòn cao, bệ than chì thông thường dễ bị bong tróc hạt. Lớp phủ CVD SiC của VETEK có độ trơ hóa học đặc biệt, hoạt động như một tấm chắn không thể xuyên thủng giúp bịt kín các vi lỗ than chì. Điều này đảm bảo cách ly hoàn toàn tạp chất nền, ngăn chặn mọi sự nhiễm bẩn của lớp epitaxy GaN hoặc SiC.

Tuổi thọ và khả năng chống mỏi đặc biệt:Nhờ quy trình xử lý giao diện độc quyền của VETEK, lớp phủ SiC của chúng tôi đạt được độ giãn nở nhiệt tối ưu tương ứng với chất nền than chì. Ngay cả trong chu kỳ nhiệt tần số cao giữa nhiệt độ khắc nghiệt, lớp phủ vẫn duy trì độ bám dính vượt trội mà không bị bong tróc hoặc phát triển các vết nứt nhỏ. Điều này làm giảm đáng kể tần suất bảo trì phụ tùng thay thế và giảm tổng chi phí sở hữu của bạn.

Hội thảo của chúng tôi