Thuyền thạch anh là một thành phần chịu tải chính được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Nó chủ yếu được sử dụng để xử lý nhiệt độ cao của các tấm wafer, chẳng hạn như khuếch tán, oxy hóa và ủ. Sự ổn định nhiệt tuyệt vời của nó, đặc điểm ô nhiễm thấp và khả năng chống ăn mòn làm cho nó trở thành một vật liệu không thể thiếu trong ngành công nghiệp bán dẫn. Bài viết này sẽ giải thích về vật liệu, tính chất vật lý, phân loại, kịch bản ứng dụng của Thuyền Quartz và sự khác biệt của nó từ Thuyền Graphite Pecvd.
Vật liệu cốt lõi của Thuyền than chì PECVD là vật liệu than chì đẳng hướng độ tinh khiết cao (độ tinh khiết thường là ≥9999%), có độ dẫn điện tuyệt vời, độ dẫn nhiệt và mật độ. So với những chiếc thuyền than chì thông thường, thuyền than chì PECVD có nhiều lợi thế về vật lý và hóa học và chủ yếu được sử dụng trong các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, đặc biệt là trong các quy trình PECVD và CVD.
Các khay than chì MOCVD đóng một vai trò quan trọng trong quá trình epiticular. Bài viết này đưa ra một phân tích chi tiết về việc lựa chọn các khay than chì MOCVD từ các quan điểm của các thuộc tính vật liệu và kịch bản ứng dụng.
Vật liệu than chì có một loạt các kịch bản ứng dụng. Trong số đó, than chì đẳng hướng và than chì silicon hóa là hai loại vật liệu than chì chính khác nhau, và đặc điểm của chúng, kịch bản ứng dụng và lợi thế khác nhau đáng kể. Blog này sẽ tiến hành phân tích so sánh từ ba khía cạnh: đặc điểm cấu trúc, kịch bản ứng dụng và lợi thế sản phẩm.
Gốm silicon cacbua, thường được gọi là gốm sic, là một vật liệu đa năng với các đặc tính độc đáo và một loạt các ứng dụng trong các ngành công nghiệp khác nhau. Sau đây là một cuộc thảo luận chi tiết về thành phần vật liệu của nó, tính chất vật lý, các ứng dụng cụ thể và lợi thế trong các quá trình phủ bán dẫn và các vấn đề phổ biến gặp phải trong quá trình xử lý.
Blog này lấy "Làm thế nào than chì xốp tăng cường sự phát triển tinh thể cacbua silicon?" Là chủ đề của nó, và thảo luận chi tiết về các khóa than liệu xốp xốp, vai trò của cacbua silicon trong công nghệ bán dẫn, tính chất độc đáo của than chì xốp, cách than chì xốp tối ưu hóa quá trình PVT, đổi mới trong vật liệu than chì xốp và các góc khác.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy