Tin tức trong ngành

Phân tích chuyên sâu các nguyên nhân gây ra hiện tượng ố vàng và bong tróc lớp phủ silicon cacbua trên chất nhạy cảm với than chì epitaxy MOCVD. VeTek loại bỏ ứng suất vi mô bằng cách kiểm soát chính xác tốc độ lắng đọng CVD và trường dòng chảy ban đầu, tăng hiệu suất lớp phủ từ 50% lên 90% và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận than chì có độ tinh khiết cao.

Giải quyết sự biến đổi độ dày từ túi này sang túi khác 1,4% trong các chất cảm ứng than chì epit Wax silicon nhiều túi, VeTek Semi đã cải thiện độ phẳng của chất cảm ứng xuống <0,08mm và giảm độ biến thiên xuống 0,69% thông qua mô phỏng trường dòng CVD và lớp phủ SiC siêu chính xác, tăng hiệu suất bán dẫn.

Tìm hiểu cách Vetek loại bỏ hiện tượng nứt xuyên tâm trong các bộ cảm biến than chì được phủ SiC MOCVD kích thước lớn. Thiết kế lại bộ đệm ứng suất kết cấu & phù hợp với CTE, tăng tuổi thọ sử dụng lên hơn 300%.