Tin tức

Vật liệu thạch anh có độ tinh khiết cao đóng vai trò quan trọng trong ngành bán dẫn. Khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, ổn định nhiệt và đặc tính truyền ánh sáng vượt trội khiến chúng trở thành vật tư tiêu hao quan trọng. Sản phẩm thạch anh được sử dụng cho các linh kiện ở cả vùng nhiệt độ cao và nhiệt độ thấp trong sản xuất wafer, đảm bảo tính ổn định và sạch sẽ của quá trình sản xuất.

Với quá trình chuyển đổi năng lượng toàn cầu, cuộc cách mạng AI và làn sóng công nghệ thông tin thế hệ mới, cacbua silic (SiC) đã nhanh chóng phát triển từ “vật liệu tiềm năng” thành “vật liệu nền tảng chiến lược” nhờ các đặc tính vật lý đặc biệt của nó.

Trong các quy trình bán dẫn nhiệt độ cao, việc xử lý, hỗ trợ và xử lý nhiệt các tấm bán dẫn phụ thuộc vào một bộ phận hỗ trợ đặc biệt—thuyền bán bán dẫn. Khi nhiệt độ quy trình tăng lên và yêu cầu về độ sạch cũng như kiểm soát hạt tăng lên, thuyền wafer thạch anh truyền thống dần bộc lộ các vấn đề như tuổi thọ ngắn, tốc độ biến dạng cao và khả năng chống ăn mòn kém.