Vòng trên cùng bằng epit Wax phủ silicon cacbua CVD 8 inch (SiC)

Các tính năng chính của vòng 8 inch SiC Epi Top

● Độ tinh khiết cao: tối thiểu 99,9995%. Kim loại sẽ không di chuyển vào lớp epi. Điều này giúp duy trì nồng độ chất mang wafer ở nơi cần thiết.

● Ngăn chặn hạt: Cấu trúc CVD dày đặc. Không có lỗ chân lông. Nó sẽ không làm rơi các hạt trong khi công cụ đang chạy. Các nhà máy nhận thấy sản lượng tốt hơn theo cách này.

● Khả năng chịu nhiệt: Vòng ổn định ở nhiệt độ 1500°C. CTE thấp (giãn nở nhiệt) có nghĩa là không bị cong vênh trong các chu kỳ tăng nhiệt/hạ nhiệt nhanh.

● Tính ổn định hóa học: SiC CVD rắn chống lại khí H2 và HCl. Nó cũng chống lại NH3. Nó không có lớp phủ để bong ra. Nó không bị suy giảm trong môi trường CVD khắc nghiệt.

● Tuổi thọ linh kiện: Bề mặt cực kỳ cứng. Nó tồn tại được khi làm sạch bằng hóa chất HF/HCl nhiều lần. Điều này làm giảm tần suất thay thế. Nó cũng làm giảm tổng chi phí sở hữu cho nhà máy.

Thông số kỹ thuật

Độ đồng đều của độ dày lớp phủ giữa các lô được kiểm soát ở mức 10um

Ứng dụng

Vòng đỉnh epi CVD SiC được sử dụng rộng rãi trong:

● Lò phản ứng epit Wax silic (Si Epi)

● Epitaxy cacbua silic (SiC Epi)

● Hệ thống MOCVD

● Thiết bị lắng đọng CVD

Thường được ghép nối với:

● Chất nhạy cảm

● Người vận chuyển bánh bán dẫn

● Làm nóng vòng nhẫn

● Lò phản ứng epitaxy

Tại sao nên chọn VETEK SiC Epi Top Ring?

● Năng lực sản xuất đầy đủ: 

Từ tinh chế nguyên liệu thô đến gia công chính xác và phủ CVD, VETEK kiểm soát toàn bộ quy trình sản xuất để đảm bảo chất lượng cấp bán dẫn nhất quán.

● Độ chính xác cao: 

Chúng tôi sử dụng gia công cấp micron. Độ dày CVD rất đồng đều. Điều này làm cho mọi chiếc nhẫn đều hoạt động theo cùng một cách.

Câu hỏi thường gặp

(1) Vòng trên cùng của SiC epi có tác dụng gì?

Chiếc nhẫn quản lý dòng nhiệt và khí. Nó đảm bảo màng mỏng phát triển đồng đều trên tấm bán dẫn.

(2) Tại sao CVD SiC tốt hơn than chì?

Than chì là xốp. Than chì có lỗ chân lông và giải phóng khí. CVD SiC rắn dày đặc và sạch sẽ. Nó tồn tại lâu hơn nhiều trong các công cụ ăn mòn.

(3). Vòng trên cùng SiC 8 inch có thể được tùy chỉnh không?

Đúng. Chúng tôi xây dựng theo bản vẽ công cụ cụ thể của bạn. Chúng tôi có thể điều chỉnh hình học dựa trên quy trình của bạn.

(4).Những ngành công nghiệp nào sử dụng vòng epitaxy SiC?

Chúng chủ yếu được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, bao gồm các thiết bị điện, thiết bị RF và sản xuất wafer SiC.