Dịch vụ làm sạch bộ phận than chì phủ CVD SiC

1. Những thách thức bạn có thể phải đối mặt

• Lớp AlN khó loại bỏ:Làm sạch bằng nhiệt 1300°C vẫn không thể ăn mòn lớp AlN dư một cách hiệu quả.

• Hiệu ứng trí nhớ định kỳ:Hiệu ứng nhớ bề mặt khiến dòng khí không ổn định trong lò phản ứng, ảnh hưởng đến tính nhất quán của quy trình.

• Chu trình làm sạch Impacts Thông lượng:Thông thường, cứ 16 chu kỳ xử lý (4–5 bộ phận nhạy cảm) cần vệ sinh bên ngoài.

• Lo ngại về việc làm hỏng lớp phủ tốn kém:Thiếu kinh nghiệm làm sạch bằng hóa chất nội bộ khiến người vận hành ngần ngại cố gắng làm sạch mạnh mẽ.

2. Giải pháp của chúng tôi – Được thiết kế cho các quy trình GaN / AlN / AlGaN

• Vệ sinh chuyên nghiệp:Quy trình tùy chỉnh được phát triển đặc biệt cho các bộ phận than chì được phủ CVD SiC. Không có công thức hóa học được yêu cầu từ khách hàng.

• An toàn lớp phủ:Bảo vệ nghiêm ngặt lớp phủ CVD SiC 100 µm. Mất độ dày tuyệt đối bằng không sau khi làm sạch.

• Kết quả có thể kiểm chứng:Chứng chỉ Phân tích (COA) đầy đủ bao gồm năm khía cạnh cốt lõi. Dữ liệu đã sẵn sàng để lưu trữ và kiểm tra chất lượng.

3. Năm tiêu chí chấp nhận cốt lõi

Phù hợp chặt chẽ với các yêu cầu quan trọng của người sử dụng epitaxy bán dẫn:

1. Không mất lớp phủ– Độ dày lớp phủ SiC không bao giờ giảm sau khi làm sạch (kiểm tra so sánh độ dày trước/sau).

2. Không biến dạng bề mặt– Độ phẳng và độ chính xác hình học được kiểm tra nghiêm ngặt để đảm bảo không bị biến dạng vật lý.

3. Loại bỏ hiệu ứng trí nhớ– Phân tích XPS về dư lượng Al/Ga xác nhận việc loại bỏ triệt để các nguồn hiệu ứng bộ nhớ.

4. Không có dư lượng kim loại– Thử nghiệm ICP-MS đối với Fe, Cu, Ni và các kim loại khác xác minh không có tạp chất kim loại còn sót lại.

5. Không có hạt dư thừa– Kiểm tra hạt QIII cộng với xác minh độ sạch sẽ ngăn chặn sự mất ổn định của dòng khí do các hạt còn sót lại gây ra.

4. Báo cáo kiểm tra giao hàng & COA

Mỗi lô đều được cung cấp dữ liệu xác minh đầy đủ trên năm khía cạnh cốt lõi:

5. Nền tảng quy trình & sản phẩm áp dụng

Thông số sản phẩm

Quy trình dịch vụ

1. Điều tra– Gửi hình ảnh sản phẩm/model/số lượng để đánh giá.

2. Báo giá– Đánh giá kỹ thuật và đề xuất làm sạch chi tiết kèm theo báo giá.

3. Vận chuyển– Gửi các bộ phận cho chúng tôi hoặc sắp xếp dịch vụ nhận hàng.

4. Vệ sinh– Vệ sinh chuyên nghiệp + kiểm tra đa chiều đầy đủ.

5. Báo cáo– Báo cáo COA được cấp và các bộ phận đã được làm sạch được trả lại.

6. Theo dõi– Theo dõi hiệu quả và hỗ trợ kỹ thuật liên tục.

6. Tại sao nên chọn dịch vụ vệ sinh VETEK?

VETEK kết hợp kiến ​​thức chuyên môn sâu về công nghệ phủ CVD SiC với khả năng làm sạch chuyên dụng dành cho các chất nhạy cảm với than chì có giá trị cao. Chúng tôi hiểu tầm quan trọng cốt yếu của tính toàn vẹn của lớp phủ, kiểm soát hạt và độ tinh khiết của quy trình trong epit Wax GaN/AlN. Dịch vụ của chúng tôi được thiết kế dành cho những khách hàng yêu cầu sự an toàn tuyệt đối cho lớp phủ CVD SiC đắt tiền đồng thời giải quyết triệt để các vấn đề về hiệu ứng bộ nhớ và mất ổn định dòng khí.

· Làm sạch thử nghiệm có sẵn để xác minh hàng loạt nhỏ

· Báo cáo COA đầy đủ được cung cấp sau mỗi lần giao hàng

· Không có nguy cơ hư hỏng lớp phủ hoặc ô nhiễm mới

· Chuyên nghiệp · An toàn · Có thể kiểm chứng