Veteksemonon sườn CVD SIC SICS PAINFOR là một giải pháp tiên tiến cho các quá trình epiticular của chất bán dẫn, cung cấp độ tinh khiết cực cao (≤100ppb, ICP-E10 được chứng nhận) và độ ổn định nhiệt/hóa học đặc biệt cho tăng trưởng chống nhiễm bẩn. Được thiết kế với công nghệ CVD chính xác, nó hỗ trợ các tấm vải 6/8/12/12, đảm bảo ứng suất nhiệt tối thiểu và chịu được nhiệt độ khắc nghiệt lên tới 1600 ° C.
SCATED COATED COATED CANTACTOR của chúng tôi là một thành phần cốt lõi trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Thiết kế của nó kết hợp chất nền than chì với lớp phủ cacbua silicon để đạt được tối ưu hóa toàn diện về hiệu suất quản lý nhiệt, độ ổn định hóa học và cường độ cơ học.
Các tấm gốm sic xốp của chúng tôi là các vật liệu gốm xốp làm từ cacbua silic như thành phần chính và được xử lý bởi các quy trình đặc biệt. Chúng là các vật liệu không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn, lắng đọng hơi hóa học (CVD) và các quy trình khác.
Vòng niêm phong được phủ SIC của chúng tôi cho epitaxy là một thành phần niêm phong hiệu suất cao dựa trên vật liệu tổng hợp than chì hoặc carbon carbon được phủ bằng cacbua silicon có độ tinh khiết cao (SIC) bằng cách lắng đọng hơi hóa học (CVD), kết hợp độ ổn định nhiệt của điện trở.
Thuyền thạch anh có độ tinh khiết cao của chúng tôi được làm bằng thạch anh hợp nhất (nội dung SiO₂ ≥ 99,99%). Với khả năng chống lại môi trường khắc nghiệt tuyệt vời, hệ số giãn nở nhiệt thấp và vòng đời dài, nó đã trở thành một khóa tiêu thụ quan trọng không thể thay thế trong các công nghiệp bán dẫn và năng lượng mới.
Nhẫn lấy nét cho khắc là thành phần chính để đảm bảo độ chính xác và ổn định của quá trình. Các thành phần này được lắp ráp chính xác trong buồng chân không để đạt được gia công đồng đều của các cấu trúc nano trên bề mặt wafer thông qua kiểm soát chính xác sự phân bố plasma, nhiệt độ cạnh và đồng nhất điện trường.
Chúng tôi sử dụng cookie để cung cấp cho bạn trải nghiệm duyệt web tốt hơn, phân tích lưu lượng truy cập trang web và cá nhân hóa nội dung. Bằng cách sử dụng trang web này, bạn đồng ý với việc chúng tôi sử dụng cookie.
Chính sách bảo mật