Tấm áp điện PZT (PZT trên Si/SOI)

1. Kiến trúc kỹ thuật

Tấm wafer của chúng tôi có cấu trúc ngăn xếp nhiều lớp tinh vi được thiết kế để đảm bảo độ bám dính, độ dẫn điện và phản ứng áp điện tối ưu trong quá trình xử lý MEMS phức tạp:

 ●Điện cực trên (Lớp khóa): Pt (Bạch kim).

● Lớp Piezo (Lớp lõi): PZT.

● Lớp trung gian: Bao gồm Lớp đệm, Điện cực dưới và Lớp bám dính để tối ưu hóa hướng hạt và độ ổn định cấu trúc.

● chất nền: Tương thích với các tấm wafer Si hoặc SOI.

2. Đảm bảo chất lượng và phân tích vi cấu trúc

Chúng tôi đảm bảo độ tin cậy cao thông qua đặc tính kỹ thuật nghiêm ngặt:

 ●Phân tích SEM: Hình ảnh Kính hiển vi điện tử quét (SEM) cho thấy hình thái bề mặt dày đặc, không có vết nứt với sự phân bố kích thước hạt đồng đều, lý tưởng cho các ứng dụng MEMS có độ tin cậy cao.

 ●Đặc tính XRD: Mẫu nhiễu xạ tia X (XRD) xác nhận sự hình thành pha perovskite tinh khiết với hướng ưu tiên mạnh (100), đảm bảo hệ số hiệu suất áp điện tối đa.

3. Thông số kỹ thuật (Đặc điểm)

4. Ứng dụng cốt lõi

 ● Đầu dò siêu âm vi cơ áp điện (pMUT): Mảng thu nhỏ tần số cao dành cho cảm biến vân tay, nhận dạng cử chỉ và radar siêu âm ô tô.

 ● Giao tiếp: Chìa khóa để sản xuất bộ lọc FBAR hoặc SAW trong 5G/6G để đạt được băng thông rộng hơn và suy hao chèn thấp hơn.

 ● MEMS âm thanh: Cung cấp phản hồi nhất thời mạnh mẽ cho loa MEMS và cải thiện Tỷ lệ tín hiệu trên tạp âm (SNR) cho micrô MEMS.

 ● Kiểm soát chất lỏng chính xác: Rung tốc độ cao thông qua chế độ d31 để kiểm soát chính xác thể tích giọt mực ở quy mô nano lít trong đầu in phun.

 ● Y tế & Làm đẹp (Bơm vi mô): Điều khiển máy phun khí dung y tế hoặc máy bơm siêu âm thẩm mỹ với độ tin cậy cao và kích thước nhỏ gọn.

5. Dịch vụ tùy biến

Ngoài việc lắng đọng tiêu chuẩn trên tấm Si, chúng tôi còn cung cấp các dịch vụ lắng đọng tùy chỉnh:

 ●Tùy chỉnh màng và độ dày: Lắng đọng các loại màng cụ thể và độ dày tùy chỉnh theo yêu cầu thiết kế.

 ●xưởng đúc OEM: Chấp nhận các tấm bán dẫn được cung cấp từ khách hàng để phát triển màng mỏng áp điện chất lượng cao.

 ●Hỗ trợ chất nền SOI: Lắng đọng chuyên dụng trên các tấm SOI với các thông số kỹ thuật sau: